|
所属 |
工学教育研究部 工学科電気電子工学プログラム担当 |
|
職名 |
准教授 |
|
外部リンク |
|
論文 【 表示 ／ 非表示 】
-
Initial stage of Si processing using single pulse of NIR fs-laser 査読あり
Masahito Katto, Masanori Kaku, Yuji Sato, Masahiro Tsukamoto, Atushi Yokotani
Proceedings of LPM2023 2023年6月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）
-
真空紫外・極端紫外光を用いた光脱離質量分析装置の開発 査読あり
横谷篤至，亀山晃弘，加来昌典，甲藤正人
レーザ加工学会誌 27 ( 3 ) 131 - 136 2020年10月
記述言語：日本語 掲載種別：研究論文（学術雑誌）
-
フェムト秒レーザーによるSi表面の相変化
甲藤正人，横谷篤至，加来昌典，大久保友雅，塚本雅裕
レーザー学会第546回研究会報告「フォトニクス・ワークショップ in 九州」 No. RTM-20 1 - 6 2020年9月
記述言語：日本語 掲載種別：研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
-
真空紫外光照射によって誘起されるPMMA の光脱離過程 査読あり
松本 和也, 小川 祐哉, 渕上 一輝, 加来 昌典
電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌） 140 ( 7 ) 862 - 866 2020年7月
記述言語：日本語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems
We report on investigation of photon-stimulated desorption processes of polymethylmethacrylate (PMMA) induced by vacuum ultraviolet (VUV) irradiations. Atoms or molecules on PMMA surfaces were to be desorbed and dissociated as a result of absorption of the wavelength-selected VUV photons. Desorbed and dissociated atoms or molecules were then detected by a mass spectrometer which were obtained as a function of the irradiation wavelength. Desorption species with mass number of 28, 29, and 30 were detected at center wavelength of around 160-170 nm, which were identified as CO, CHO, and C2H6, respectively. These photon-stimulated desorption processes of PMMA depend on bond energy or molecular structure.
-
フェムト秒レーザーのダブルパルス照射によるシリコン加工の初期過程
甲藤正人、横谷篤至、加来昌典、塚本雅裕
レーザー学会第537回研究会報告「次世代レーザー加工」 RTM-19 29 - 34 2019年11月
記述言語：日本語 掲載種別：研究論文（研究会，シンポジウム資料等）
MISC 【 表示 ／ 非表示 】
-
真空紫外光照射によるポリマーの光脱離現象 招待あり
加来昌典
光アライアンス 31 ( 1 ) 19 - 22 2020年1月
記述言語：日本語 掲載種別：記事・総説・解説・論説等（学術雑誌） 出版者・発行元：日本工業出版
講演・口頭発表等 【 表示 ／ 非表示 】
-
深紫外光 LED を用いた LTCC の表面改質
東田 祥 和，安倍 一輝，加来 昌典，甲藤 正人，植野琴美，牧 野 由，森永 高広，森 隆博
レーザー学会九州支部第12回学生講演会 2023年9月10日
開催年月日： 2023年9月10日
記述言語：日本語 会議種別：口頭発表（一般）
-
urface modification of polyethylene terephthalate by deep-ultraviolet LED irradiations 国際会議
M. Kaku, K. Takahashi, M. Katto, K. Ueno, T. Makino, T. Morinaga, T. Mori
The 36th European Conference on Surface Science (ECOSS36) 2023年8月
開催年月日： 2023年8月28日 - 2023年9月1日
記述言語：英語 会議種別：口頭発表（一般）
-
Initial stage of Si processing using single pulse of NIR fs-laser 国際会議
Masahito Katto, Masanori Kaku, Yuji Sato, Masahiro Tsukamoto, Atushi Yokotani
The 24th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM 2023) 2023年6月
開催年月日： 2023年6月13日 - 2023年6月16日
記述言語：英語 会議種別：口頭発表（一般）
-
深紫外LED光源を用いたポリエチレンテレフタレートの親水性の向上
高橋 航太，東田 祥和, 甲藤 正人，加来 昌典，植野 琴美, 牧野 , 森永 高広, 森 隆博
レーザー学会学術講演会第43回年次大会 2023年1月20日
開催年月日： 2023年1月18日 - 2023年1月20日
記述言語：日本語 会議種別：口頭発表（一般）
-
深紫外LED光照射によるPETの表面改質
高橋 航太，東田 祥和, 甲藤 正人，加来 昌典，植野 琴美, 牧野 , 森永 高広, 森 隆博
2022年（令和4年度）応用物理学会九州支部学術講演会 2022年11月26日
開催年月日： 2022年11月26日 - 2022年11月27日
記述言語：日本語 会議種別：口頭発表（一般）
受賞 【 表示 ／ 非表示 】
-
応用物理学会九州支部学術講演会発表奨励賞
2018年12月 応用物理学会
津島壮吾，酒井公輔，宮元康平，甲藤正人，加来昌典
受賞区分：国内学会・会議・シンポジウム等の賞 受賞国：日本国
-
レーザー学会 奨励賞
2013年5月 一般社団法人 レーザー学会
加来昌典
受賞区分：国内学会・会議・シンポジウム等の賞 受賞国：日本国
-
電気学会 電子・情報・システム部門 技術委員会奨励賞
2011年5月 電気学会
加来昌典
受賞区分：国内学会・会議・シンポジウム等の賞 受賞国：日本国
-
第29回宮崎銀行ふるさと振興基金 学術研究部門
2011年2月 宮崎銀行ふるさと振興基金
加来昌典
受賞区分：出版社・新聞社・財団等の賞 受賞国：日本国
-
宮崎日日新聞賞 科学賞
2007年10月 宮崎日日新聞社
宮崎大学光科学研究グループ
受賞区分：出版社・新聞社・財団等の賞 受賞国：日本国
科研費（文科省・学振・厚労省）獲得実績 【 表示 ／ 非表示 】
-
深紫外LEDで実現する有機材料の光物質プロセスの探求と制御された生産技術の確立
研究課題/領域番号：22K04199 2022年04月 - 2025年03月
独立行政法人日本学術振興会 科学研究費補助金 基盤研究(C)
担当区分：研究代表者
-
真空紫外光によるプラスチックの光脱現象の解明と有機エレクトロニクス技術への応 用
2017年04月 - 2020年03月
科学研究費補助金 基盤研究(C)
担当区分：研究代表者
-
レーザー生成プラズマ極端紫外光源を用いた物質表面の極微細分析技術の開発
2013年04月 - 2016年03月
科学研究費補助金 若手研究(B)
担当区分：研究代表者
物質の表面に真空紫外から極端紫外域（波長域200～40 nm）の光を照射すると，その高い光子エネルギー（6～30 eVに相当）により表面原子の電子が解離状態に励起され表面から脱離する．この波長域の光は物質との相互作用が大きく，光の侵入長はナノメートルオーダーであるので，脱離種を分析することで物質の極表面の情報を得ることができると考えられる．
本研究では，真空紫外・極端紫外光技術を基盤とし，レーザープラズマ広帯域極端紫外光源による光脱離現象を解析すると共に，それを応用した物質表面の微細分析技術を確立することを目的とする． -
レーザープラズマ極端紫外光源による光脱離現象を利用した表面微細分析技術の開発
2009年04月 - 2011年03月
科学研究費補助金 若手研究(B)
担当区分：研究代表者
レーザー生成プラズマからの極端紫外発光による光脱離現象を利用した物質極表面の分析技術を開発する．
共同研究実施実績 【 表示 ／ 非表示 】
-
UV-LED照射効果の評価および原理解析
2023年05月 - 2024年04月
日機装株式会社 インダストリアル事業本部 国内共同研究
担当区分：研究代表者 共同研究区分：学内共同研究
-
UV-LED照射効果の評価および原理解析
2022年05月 - 2023年04月
日機装株式会社 東村山製作所 国内共同研究
加来 昌典、甲藤 正人
担当区分：研究代表者 共同研究区分：国内共同研究
-
UV-LED照射効果の評価および原理解析
2021年05月 - 2022年04月
日機装株式会社 東村山製作所 国内共同研究
担当区分：研究代表者 共同研究区分：国内共同研究
-
UV-LED照射効果の評価および原理解析
2020年05月 - 2021年04月
日機装株式会社 東村山製作所 国内共同研究
担当区分：研究代表者 共同研究区分：国内共同研究