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Affiliation |
Engineering educational research section Electrical and Electronic Engineering Program |
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Title |
Associate Professor |
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KAKU Masanori
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Papers 【 display / non-display 】
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Initial stage of Si processing using single pulse of NIR fs-laser Reviewed
Masahito Katto, Masanori Kaku, Yuji Sato, Masahiro Tsukamoto, Atushi Yokotani
Proceedings of LPM2023 2023.6
Language：English Publishing type：Research paper (international conference proceedings)
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Development of Photo-stimulated Desorption Mass Spectrometer Using Vacuum and Extreme Ultraviolet Light Reviewed
27 ( 3 ) 131 - 136 2020.10
Language：Japanese Publishing type：Research paper (scientific journal)
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フェムト秒レーザーによるSi表面の相変化
甲藤正人，横谷篤至，加来昌典，大久保友雅，塚本雅裕
レーザー学会第546回研究会報告「フォトニクス・ワークショップ in 九州」 No. RTM-20 1 - 6 2020.9
Language：Japanese Publishing type：Research paper (conference, symposium, etc.)
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Photon-stimulated Desorption Processes of Polymethylmethacrylate by Vacuum Ultraviolet Irradiations Reviewed
Matsumoto Kazuya, Ogawa Yuya, Fuchigami Kazuki, Kaku Masanori
IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems 140 ( 7 ) 862 - 866 2020.7
Language：Japanese Publishing type：Research paper (scientific journal) Publisher：The Institute of Electrical Engineers of Japan
<p>We report on investigation of photon-stimulated desorption processes of polymethylmethacrylate (PMMA) induced by vacuum ultraviolet (VUV) irradiations. Atoms or molecules on PMMA surfaces were to be desorbed and dissociated as a result of absorption of the wavelength-selected VUV photons. Desorbed and dissociated atoms or molecules were then detected by a mass spectrometer which were obtained as a function of the irradiation wavelength. Desorption species with mass number of 28, 29, and 30 were detected at center wavelength of around 160-170 nm, which were identified as CO, CHO, and C<sub>2</sub>H<sub>6</sub>, respectively. These photon-stimulated desorption processes of PMMA depend on bond energy or molecular structure.</p>
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フェムト秒レーザーのダブルパルス照射によるシリコン加工の初期過程
甲藤正人、横谷篤至、加来昌典、塚本雅裕
レーザー学会第537回研究会報告「次世代レーザー加工」 RTM-19 29 - 34 2019.11
Language：Japanese Publishing type：Research paper (conference, symposium, etc.)
MISC 【 display / non-display 】
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真空紫外光照射によるポリマーの光脱離現象 Invited
加来昌典
光アライアンス 31 ( 1 ) 19 - 22 2020.1
Language：Japanese Publishing type：Article, review, commentary, editorial, etc. (scientific journal) Publisher：日本工業出版
Presentations 【 display / non-display 】
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深紫外光 LED を用いた LTCC の表面改質
東田 祥 和，安倍 一輝，加来 昌典，甲藤 正人，植野琴美，牧 野 由，森永 高広，森 隆博
レーザー学会九州支部第12回学生講演会 2023.9.10
Event date： 2023.9.10
Language：Japanese Presentation type：Oral presentation (general)
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urface modification of polyethylene terephthalate by deep-ultraviolet LED irradiations International conference
M. Kaku, K. Takahashi, M. Katto, K. Ueno, T. Makino, T. Morinaga, T. Mori
The 36th European Conference on Surface Science (ECOSS36) 2023.8
Event date： 2023.8.28 - 2023.9.1
Language：English Presentation type：Oral presentation (general)
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Initial stage of Si processing using single pulse of NIR fs-laser International conference
Masahito Katto, Masanori Kaku, Yuji Sato, Masahiro Tsukamoto, Atushi Yokotani
The 24th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM 2023) 2023.6
Event date： 2023.6.13 - 2023.6.16
Language：English Presentation type：Oral presentation (general)
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深紫外LED光源を用いたポリエチレンテレフタレートの親水性の向上
高橋 航太，東田 祥和, 甲藤 正人，加来 昌典，植野 琴美, 牧野 , 森永 高広, 森 隆博
レーザー学会学術講演会第43回年次大会 2023.1.20
Event date： 2023.1.18 - 2023.1.20
Language：Japanese Presentation type：Oral presentation (general)
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深紫外LED光照射によるPETの表面改質
高橋 航太，東田 祥和, 甲藤 正人，加来 昌典，植野 琴美, 牧野 , 森永 高広, 森 隆博
2022年（令和4年度）応用物理学会九州支部学術講演会 2022.11.26
Event date： 2022.11.26 - 2022.11.27
Language：Japanese Presentation type：Oral presentation (general)
Awards 【 display / non-display 】
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応用物理学会九州支部学術講演会発表奨励賞
2018.12 応用物理学会
津島壮吾，酒井公輔，宮元康平，甲藤正人，加来昌典
Award type：Award from Japanese society, conference, symposium, etc. Country：Japan
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レーザー学会 奨励賞
2013.5 一般社団法人 レーザー学会
加来昌典
Award type：Award from Japanese society, conference, symposium, etc. Country：Japan
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電気学会 電子・情報・システム部門 技術委員会奨励賞
2011.5 電気学会
加来昌典
Award type：Award from Japanese society, conference, symposium, etc. Country：Japan
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第29回宮崎銀行ふるさと振興基金 学術研究部門
2011.2 宮崎銀行ふるさと振興基金
加来昌典
Award type：Award from publisher, newspaper, foundation, etc. Country：Japan
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宮崎日日新聞賞 科学賞
2007.10 宮崎日日新聞社
宮崎大学光科学研究グループ
Award type：Award from publisher, newspaper, foundation, etc. Country：Japan
Grant-in-Aid for Scientific Research 【 display / non-display 】
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深紫外LEDで実現する有機材料の光物質プロセスの探求と制御された生産技術の確立
Grant number：22K04199 2022.04 - 2025.03
独立行政法人日本学術振興会 科学研究費補助金 基盤研究(C)
Authorship：Principal investigator
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真空紫外光によるプラスチックの光脱現象の解明と有機エレクトロニクス技術への応 用
2017.04 - 2020.03
科学研究費補助金 基盤研究(C)
Authorship：Principal investigator
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レーザー生成プラズマ極端紫外光源を用いた物質表面の極微細分析技術の開発
2013.04 - 2016.03
科学研究費補助金 若手研究(B)
Authorship：Principal investigator
物質の表面に真空紫外から極端紫外域（波長域200～40 nm）の光を照射すると，その高い光子エネルギー（6～30 eVに相当）により表面原子の電子が解離状態に励起され表面から脱離する．この波長域の光は物質との相互作用が大きく，光の侵入長はナノメートルオーダーであるので，脱離種を分析することで物質の極表面の情報を得ることができると考えられる．
本研究では，真空紫外・極端紫外光技術を基盤とし，レーザープラズマ広帯域極端紫外光源による光脱離現象を解析すると共に，それを応用した物質表面の微細分析技術を確立することを目的とする． -
レーザープラズマ極端紫外光源による光脱離現象を利用した表面微細分析技術の開発
2009.04 - 2011.03
科学研究費補助金 若手研究(B)
Authorship：Principal investigator
レーザー生成プラズマからの極端紫外発光による光脱離現象を利用した物質極表面の分析技術を開発する．