Affiliation |
Organization for Promotion of Research and Industry-Academic Regional Collaboration Division for Collaborative Research and Community Cooperation |
Title |
Associate Professor |
External Link |
KATTO Masahito
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Degree 【 display / non-display 】
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博士(工学) ( 1994.3 大阪府立大学 )
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工学修士 ( 1991.3 大阪府立大学 )
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工学士 ( 1989.3 大阪府立大学 )
Research Areas 【 display / non-display 】
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Natural Science / Semiconductors, optical properties of condensed matter and atomic physics
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Manufacturing Technology (Mechanical Engineering, Electrical and Electronic Engineering, Chemical Engineering) / Electric and electronic materials
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Nanotechnology/Materials / Optical engineering and photon science
Papers 【 display / non-display 】
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エキシマランプを用いた光学薄膜用オーバーコート技術の開発
村上拓海,甲藤正人,亀山晃弘,横谷篤至,吉田国雄
レーザー学会第578回研究会報告 「フォトニクス・ワークショップ in 九州」 ( No. RTM-23-21〜26 ) 1 - 4 2023.9
Language:Japanese Publishing type:Research paper (conference, symposium, etc.)
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Initial stage of Si processing using single pulse of NIR fs-laser
Masahito Katto, Masanori Kaku, Yuji Sato, Masahiro Tsukamoto, Atushi Yokotani
Proceedings of LPM2023 ( #23-065 ) 2023.8
Authorship:Lead author Language:English Publishing type:Research paper (international conference proceedings)
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高性能光ファイバーセンサーの開発
亀山晃弘,甲藤正人,横谷篤至
レーザー学会第555回研究会報告 「フォトニクス・ワークショップ in 九州」 ( No. RTM-22-26〜31 ) 29 - 33 2022.9
Language:Japanese Publishing type:Research paper (conference, symposium, etc.)
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ファイバーブラック回折格子 (FBG) センサーの高精度化
亀山晃弘,甲藤正人,横谷篤至
レーザー学会第555回研究会報告 「フォトニクス・ワークショップ in 九州」 ( No. RTM-21 ) 7 - 11 2021.9
Language:Japanese Publishing type:Research paper (conference, symposium, etc.)
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真空紫外・極端紫外光を用いた光脱離質量分析装置の開発 Invited Reviewed
横谷篤至, 亀山晃弘, 加来昌典, 甲藤正人
レーザ加工学会誌 27 ( 3 ) 131 - 136 2020.10
Language:Japanese Publishing type:Research paper (scientific journal)
Books 【 display / non-display 】
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レーザものづくり入門-基礎から装置導入まで-
レーザプラットフォーム協議会( Role: Joint author , 第一章1,2、第二章4,5)
産報出版 2010.1
Language:Japanese Book type:Scholarly book
MISC 【 display / non-display 】
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Vacuum UV applications for nanoscale processing(共著)
Masahito Katto and Atushi Yokotani
SPIE Newsroom 2010.2
Language:English Publishing type:Article, review, commentary, editorial, etc. (scientific journal) Publisher:SPIE
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真空紫外光による環境調和型光プロセス-光を創る、光で創る
甲藤正人、亀山晃弘、加来昌典、窪寺昌一、横谷篤至
工業材料 58 ( 1 ) 40 - 41 2009.12
Language:Japanese Publishing type:Article, review, commentary, editorial, etc. (trade magazine, newspaper, online media) Publisher:日刊工業新聞社
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Report on ICALEO 2008 Invited
TSUKAMOTO Masahiro, KATTO Masahito
37 ( 3 ) 206 - 207 2009.3
Language:Japanese Publishing type:Article, review, commentary, editorial, etc. (scientific journal)
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Report on ICALEO 2007 Invited
TSUKAMOTO Masahiro, KATTO Masahito
The Review of laser engineering 36 ( 2 ) 93 - 95 2008.2
Language:Japanese Publishing type:Article, review, commentary, editorial, etc. (scientific journal)
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真空紫外光で拓く環境調和型プロセス—真空紫外領域における光源の開発とその応用技術の開発—(共著)
甲藤正人、窪寺昌一、横谷篤至
ケミカルエンジニアリング 52 ( 1 ) 66 - 71 2007.1
Language:Japanese Publishing type:Article, review, commentary, editorial, etc. (trade magazine, newspaper, online media) Publisher:化学工業社
Presentations 【 display / non-display 】
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光・レーザープロセスによる表層加工技術
甲藤正人,加来昌典,横谷篤至, 亀山晃弘, 塚本雅裕,佐藤雄二
社会実装に向けて次世代レーザー表層加工技術技術専門委員会研究会 2024.2.27
Event date: 2024.2.27
Language:Japanese Presentation type:Oral presentation (general)
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エキシマランプを用いた光学薄膜用オーバーコート技術の開発
村上拓海,甲藤正人,亀山晃弘,横谷篤至,吉田国雄
レーザー学会第578回研究会 「フォトニクス・ワークショップ in 九州」 (札幌市) 2023.9.11 レーザー学会
Event date: 2023.9.11
Language:Japanese Presentation type:Oral presentation (general)
Venue:札幌市
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深紫外光 LED を用いた LTCC の表面改質
東田祥和、 安倍一輝、 加来昌典、 甲藤 正人、植野琴美、 牧野由、 森永高広、 森隆博
レーザー学会九州支部 第 12 回 学生講演会 (札幌市) 2023.9.10 レーザー学会
Event date: 2023.9.10
Language:Japanese Presentation type:Oral presentation (general)
Venue:札幌市
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Surface modification of polyethylene terephthalate by deep-ultraviolet LED irradiations International conference
M. Kaku, K. Takahashi, M. Katto, K. Ueno, T. Makino, T. Morinaga, T. Mori
36th European Conference on Surface Science 2023.8.28
Event date: 2023.8.28 - 2023.9.1
Language:English Presentation type:Poster presentation
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Initial stage of Si processing using single pulse of NIR fs-laser International conference
Masahito Katto, Masanori Kaku, Yuji Sato, Masahiro Tsukamoto, Atushi Yokotani
The 24th International Sympojium on on Laser Precision Micrpfabrication (LPM 2023) 2023.6.15
Event date: 2023.6.13 - 2023.6.16
Language:English Presentation type:Oral presentation (general)
Awards 【 display / non-display 】
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宮崎日日新聞賞科学賞
2007.10 宮崎日日新聞社
宮崎大学光科学研究グループ
Award type:Award from publisher, newspaper, foundation, etc. Country:Japan
Grant-in-Aid for Scientific Research 【 display / non-display 】
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生体親和性材料開発に関する研究
2001.04 - 2004.03
科学研究費補助金 基盤研究(B)
生体親和性材料開発に関する研究
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希ガスエキシマランプを用いた光量子洗浄装置の開発
2001.04 - 2004.03
科学研究費補助金 基盤研究(B)
希ガスエキシマランプを用いた光量子洗浄装置の開発
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輝尽性蛍光体の紫外からの可視域光強度記録への応用
1995.04 - 1996.03
科学研究費補助金 奨励研究(A)
本研究においては、イメ-ジングプレ-トの可視から紫外領域での記録特性を評価することを目的とし、以下の項目を実施した。
1.輝尽発光の二次元読み取り装置の設計製作
ステッピングモ-タ-駆動二次元走査ステ-ジおよびモ-タ-ドライブ回路、ならびに絶縁I/Oインタ-フェイスを設計・製作した。これにより、パ-ソナルコンピュ-タ-制御の二次元読み取り装置が完成した。
2.単色光源の設計・製作
波長200nm前後の出力光が得られるように、重水素ランプとモノクロメ-タを用いた単色光源を製作した。この光源により波長200nmから400nmの範囲で、スペクトル幅1nm程度の出力光が得られた。また、出力光を一定時間だけ照射することが可能なように、コンピュ-タ-制御の電磁シャッタ-コントロ -ラ-を設計・製作した。これにより10msec程度の精度で照射時間を制御することが可能となった。
3.分解能テストタ-ゲットの製作
分解能を評価する際には、テストタ-ゲットを透過した強度分布パタ-ンを記録し、再生する方法を用いることとした。波長200nm付近の紫外領域においてはこの領域の光を透過させる基板、例えば合成石英基板上にパタ-ンが描画されているものが必要となるが、このような仕様のものは市販されていない。したがって、フォトリソグラフィ・プロセスにより、合成石英基板上にアルミニウムのパタ-ンを作成することとした。市販のテストタ-ゲットをマスタ-のマスクとして用い、プロセスの条件を最適にしてやることで、線幅5mmのアルミニウムパタ-ンを合成石英基板上に転写することができた。
Other research activities 【 display / non-display 】
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大阪大学接合科学研究所共同研究員
2023.04 - 2024.03
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財団法人レーザー技術総合研究所共同研究員
2023.04 - 2024.03
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財団法人レーザー技術総合研究所共同研究員
2022.04 - 2023.03
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大阪大学接合科学研究所共同研究員
2022.04 - 2023.03
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財団法人レーザー技術総合研究所共同研究員
2021.04 - 2022.03