論文 - 甲藤 正人
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ファイバー型ファブリペロー干渉計を用いた屈折率センサー
榎田海渡,増原陸,宮戸悠樹,亀山晃弘,甲藤 正人,横谷篤至
レーザー学会第601回研究会「フォトニクス・ワークショップ in 九州 ~宮崎~」 RTM-24-19〜24 17 - 22 2025年10月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)
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甲藤 正人
天田財団助成研究成果報告書 38 ( 0 ) 295 2025年
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宮崎大学における共同研究の相手先の地理的分布 査読あり
西片 奈保子, 竹下 哲史, 川崎 一正, 秋丸 國廣, 甲藤 正人, 淡野 公一, 北村 寿宏
産学連携学 21 ( 1 ) 1_29 - 1_44 2024年12月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌) 出版者・発行元:特定非営利活動法人 産学連携学会
宮崎大学の共同研究の状況について,2009~2018(平成21~30)年度の契約データに基づき,相手先やその地域性,研究費受入額などの分析を行った結果,以下のことが明らかになった.①宮崎大学の共同研究の件数における相手先の割合は,大企業が約49%,中小企業が約36%,企業以外が約15%であり,大企業の割合が最も高くなっている.②大企業を相手先とする共同研究の件数は,関東,近畿,東海,九州・沖縄,中国の各地方,宮崎県の順に多い.関東地方や宮崎県では概ね横ばい傾向であるが,東海,近畿,九州・沖縄の各地方では2014~15年度頃から増加に転じているとみられる.③中小企業を相手先とする共同研究の件数は,宮崎県,関東地方,近畿地方,九州・沖縄地方の順に多い.宮崎県や関東,近畿,中国,九州・沖縄の各地方で共同研究が増加している傾向がみられる.④企業との共同研究における研究費受入額は,金額が多い順に,関東地方,近畿地方,東海地方,宮崎県,九州・沖縄地方である.東海地方,九州・沖縄地方,および,宮崎県の企業との共同研究において,一件当たりの研究費受入額が増加している傾向がみられ,徐々に大型化が進んでいることが推察される.⑤企業以外の機関を相手先とする共同研究の件数は,宮崎大学が位置する宮崎県内の機関,および,関東地方に位置する機関との共同研究が多い.
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深紫外LED光を用いた有機材料表面の親水化
加来昌典,甲藤正人,植野琴美,牧野由,森本崇,森永高広,森隆博
レーザー学会第591回研究会報告「有機コヒーレントフォトニクス」 No. RTM-24-40 23 - 27 2024年11月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)
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ファイバー型ファブリペロー干渉計を用いた屈折率センサーの開発
亀山晃弘、榎田海斗、甲藤正人、横谷篤至
レーザー学会第588回研究会報告「フォトニクス・ワークショップin九州~長崎~」 RTM-24-19〜24 7 - 12 2024年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)
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深紫外LED光を用いた有機材料の表面改質
加来昌典,甲藤正人,植野琴美,牧野由,森本崇,森永高広,森隆博
レーザー学会第588回研究会報告「フォトニクス・ワークショップin九州~長崎~」 RTM-24-19〜24 13 - 18 2024年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)
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エキシマランプを用いた光学薄膜用オーバーコート技術の開発
村上拓海,甲藤正人,亀山晃弘,横谷篤至,吉田国雄
レーザー学会第578回研究会報告 「フォトニクス・ワークショップ in 九州」 ( No. RTM-23-21〜26 ) 1 - 4 2023年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)
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Initial stage of Si processing using single pulse of NIR fs-laser
Masahito Katto, Masanori Kaku, Yuji Sato, Masahiro Tsukamoto, Atushi Yokotani
Proceedings of LPM2023 ( #23-065 ) 2023年8月
担当区分:筆頭著者 記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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田中 芳樹, 中井 健太, 奥村 勇之介, 亀山 晃弘, 甲藤 正人, 横谷 篤至
宮崎大学工学部紀要 51 29 - 33 2022年11月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌) 出版者・発行元:宮崎大学工学部
Vacuum ultraviolet (VUV) with a wavelength of 100-200 nm has a photon energy of about 6-12 eV, which is higher than the binding energy of many substances, and has the feature of being able to break chemical bonds. We have applied these features to develop an analyzer named the Photon-stimulated Desorption Spectrometer. Since the spatial and temporal resolutions of this system are low due to adaption of incoherent light source, it is expected to improve by replacing the light source with an ultrashort pulsed VUV laser. In the present study, we have developed a focusing and irradiating system that enables various laser irradiation modes by overlapping multiple beams spatially and temporally. High-precision position control of the focusing and irradiating system is necessary for this purpose. Here, we used a number of micrometers with encoder that can be computercontrolled with a resolution of 1 μm to develop a double beam focusing and irradiating system using currently available ultrashort pulsed lasers with wavelengths of 800 nm and 400 nm. As a results, we confirmed that the smaller spot diameter was obtained by using the shorter wavelength. The spatial superposition can be performed within an accuracy range of ±3 μm, and the temporal superposition can be performed with an accuracy of 33 fs. Besides, interference fringes were obtained by angled irradiation of two light beams which can be expected to induce desorption in finer areas.
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高性能光ファイバーセンサーの開発
亀山晃弘,甲藤正人,横谷篤至
レーザー学会第555回研究会報告 「フォトニクス・ワークショップ in 九州」 ( No. RTM-22-26〜31 ) 29 - 33 2022年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)
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PLD法によって付着させたSi(111)-清浄表面上の金原子のSTM観察 査読あり
高田 大河, 田中 芳樹, 永崎 誠人, 亀山 晃弘, 甲藤 正人, 横谷 篤至
宮崎大学工学部紀要 50 51 - 54 2021年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌) 出版者・発行元:宮崎大学工学部
To obtain important information for fabricating atomic-scale Au thin films that are used for biosensors, we have examined the flushing temperature for forming the Si(111) clean surface and observed the morphology of Au particles adsorbed by Pulsed Laser Deposition method on a Si(111)-7×7 surface by STM, which is supposed to be the initial stage of Au atomistic thin film formation. As the result of this study, it was found that flushing temperature must be controlled within 5℃ and we can fix the flushing requirement by STM images. Besides, we have estimated that Au particles are adsorbed on the position which is about 0.21 ± 0.03 nm away from the center of Si adatom.
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ファイバーブラック回折格子 (FBG) センサーの高精度化
亀山晃弘,甲藤正人,横谷篤至
レーザー学会第555回研究会報告 「フォトニクス・ワークショップ in 九州」 ( No. RTM-21 ) 7 - 11 2021年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)
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真空紫外・極端紫外光を用いた光脱離質量分析装置の開発 招待あり 査読あり
横谷篤至, 亀山晃弘, 加来昌典, 甲藤正人
レーザ加工学会誌 27 ( 3 ) 131 - 136 2020年10月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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フェムト秒レーザーによるSi表面の相変化
甲藤正人,横谷篤至,加来昌典,大久保友雅,塚本雅裕
レーザー学会第546回研究会報告「フォトニクス・ワークショップ in 九州」 ( No. RTM-20-06〜11 ) 1 - 6 2020年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)
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フェムト秒レーザーによるSi表面の相変化
甲藤 正人
レーザー学会第546回研究会報告 No. RTM-20-06~11 1 - 6 2020年
掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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フェムト秒レーザーのダブルパルス照射によるシリコン加工の初期過程
亀山晃弘、高田大河、甲藤正人、横谷篤至
レーザー学会第537回研究会報告「次世代レーザー加工」 ( No. RTM-19-29〜34 ) 25 - 30 2019年11月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)
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紫外・真空紫外光を用いたマテリアルプロセッシング
亀山晃弘、高田大河、甲藤正人、横谷篤至
レーザー学会第536回研究会 「フォトニクス・ワークショップ in 九州」 ( No. RTM-19-22〜28 ) 37 - 42 2019年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)
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宮崎大学における「組織」対「組織」の産学官金連携活動 招待あり
甲藤正人
産学官連携ジャーナル 14 ( 12 ) 8 - 10 2018年12月
担当区分:筆頭著者, 責任著者 記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)
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光・レーザーによる洗浄ならびに加工プロセスにおける素過程の観察
甲藤正人, 加来昌典,塚本雅裕,横谷篤至
レーザー学会第529回研究会報告「次世代レーザー加工」 ( No. RTM-18-36〜41 ) 1 - 6 2018年11月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)
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レーザープロセッシングによる高精度光学式センサーの作製法の開発
亀山晃弘、加来昌典、甲藤正人、横谷篤至
レーザー学会第523回研究会報告「レーザー応用」 ( No. RTM-18-21〜27 ) 37 - 42 2018年9月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)
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Ablation by Double Pulse Irradiation by Femtosecond Laser with Different Delay Time.
M. Katto, K. Nakajima, S. Kuronita, M. Tsukamoto, M. Kaku and A. Yokotani
Tecnical digest of The 3rd Smart Laser Processing Conference 2018(SLPC2018) - #17-54 2018年4月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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光・レーザー応用による加工ならびに表面分析技術における素過程の考察
甲藤正人,加来昌典,渕上一輝,塚本雅裕,横谷篤至
レーザー学会第516回研究会報告「次世代産業用レーザー」 ( No. RTM-17-62〜66 ) 7 - 12 2017年12月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)
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フェムト秒レーザー同期発振システムによる短波長光発生とレーザープロセス過程の観測
甲藤正人,加来昌典,宮永憲明,塚本雅裕, 横谷篤至
レーザー学会第509回研究会報告「レーザー応用」 ( No. RTM-17-19〜24 ) 29 - 34 2017年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)
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ファイバーブラック回折格子 (FBG) センサーの高性能化
亀山 晃弘,加来 昌典,甲藤 正人,横谷 篤至
レーザー学会第509回研究会報告「レーザー応用」 ( No. RTM-17-19〜24 ) 23 - 28 2017年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)
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Influence of Double Pulse Irradiation on Ablation Area by Femtosecond Laser with Different Delay Time.
M. Katto, T. Sugihara, S. Kubodera, M. Tsukamoto, M. Kaku and A. Yokotani
Proceedings of LPM2017 - #17-54 2017年6月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Amplification of femtosecond pulses at 126 nm in optical-field-induced plasma filamentation in Ar
Kubodera S., Fujiyoshi K., Kaku M., Katto M.
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering 10254 2017年
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌) 出版者・発行元:Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
© 2017 SPIE. We have observed an optical gain at the wavelength of 126 nm in an Ar excimer (Ar2 ∗) amplifier by utilizing a femtosecond vacuum ultraviolet (VUV) seed beam tuned at 126 nm. The maximum optical gain value of 1.1 cm -1 with a spatial distribution in the optical-field-induced ionization (OFI) Ar plasma was observed. The plasma diagnosis revealed that the plasma contraction near the plasma amplifier axis together with the plasma expansion was a key issue to observe such a high optical gain value inside the Ar plasma filament. The center axis of the contracted plasma amplifier showed the high electron density more than 10 18 cm -3 even after 100 ns from the plasma production of Ar at 1 MPa. Our OFI plasma/excimer kinetics code reproduced the temporal progress of the optical gain distribution as well as the maximum gain value.
DOI: 10.1117/12.2256014
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傾斜型ブラッグ回折格子(TFBG)センサーによる液体の屈折率計測
亀山 晃弘, 加来 昌典, 甲藤 正人, 横谷 篤至
レーザー研究 45 ( 1 ) 2017年
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌) 出版者・発行元:一般社団法人 レーザー学会
Tilted Fiber Bragg Grating (TFBG) is expected to be used for such sensors as refractometers, twistsensors, liquid level sensors, chemical sensors and biosensors. We review its fabrication techniques andits refractive index measurements and developed a simplified technique to fabricate TFBG forsimultaneous measurements of the refractive index and the temperatures of liquids. We used acombination of a 4ω Nd:YAG laser and a phase mask, which is simpler than a conventional methodusing a 2ω cw Ar+ laser and a Lloyd mirror interferometer. We calculated TFBG's cladding modes bythe multi-layer method and estimated the temperature coefficient of the water's refractive index to beabout ‒1×10‒4 /K using our fabricated TFBG sensor.
DOI: 10.2184/lsj.45.1_26
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真空紫外光領域における光源開発と短波長光の特長を活かした応用技術開発
甲藤正人,加来昌典,佐々木亘,宮永憲明,横谷篤至
レーザー学会第499回研究会報告「次世代産業用レーザー」 RTM-16-51〜55 5 - 10 2016年12月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)
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傾斜型ファイバーブラックグレーティ ング(TFBG)を用いたセンシング技術
亀山晃弘 ,加来昌典 ,甲藤正人 ,横谷篤至
レーザー学会第495回研究会報告「レーザー応用」 No. RTM-16-25〜28 27 - 32 2016年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)
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Kameyama Akihiro, Katto Masahito, Yokotani Atsushi
Jpn. J. Appl. Phys. 55 ( 6 ) 2016年5月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌) 出版者・発行元:Institute of Physics
We considered the influence of the core and cladding diameters on the simultaneous measurement of the refractive index and temperature of liquids using a tilted fiber Bragg grating (TFBG). When the cladding diameter of a TFBG was only reduced from 125 to 123 µm, the calculated refractive index differed by 0.0068 from the expected value. When the core diameter was reduced from 9.6 to 7.8 µm, the change was less than 0.0005. We found that equalization of cladding diameter is required to improve the precision of the simultaneous measurement of the refractive index and temperature of liquids.
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真空紫外光域における高強度レーザー光源の開発と応用
甲藤 正人,加来 昌典,横谷 篤至,窪寺 昌一
レーザー学会第483回研究会報告「短波長量子ビーム発生と応用」 RTM-15-45〜50 1 - 5 2015年12月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Amplification of 126 nm femtosecond pulses in optical-field-induced Ar plasma filamentation
Kubodera S., Kaku M., Deshimaru N., Katto M.
2015 IEEE Photonics Conference, IPC 2015 76 - 77 2015年11月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌) 出版者・発行元:2015 IEEE Photonics Conference, IPC 2015
© 2015 IEEE. Plasma diagnosis revealed that the electron density of an optical-field-induced Ar 2 ∗ amplifier was larger than 10 18 cm -3 after 100 ns of the plasma production, which resulted in the 126 nm optical gain of 1.1 cm -1 .
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TFBG(傾斜型ブラッグ回折格子)センサーを用いた 液体の温度と屈折率の同時計測
亀山晃弘,加来昌典,甲藤正人,窪寺昌一,横谷篤至
レーザー学会第480回研究会報告「レーザー応用」 RTM-15~31 2015年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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時間遅延をつけたフェムト秒レーザー・ダブルパルスによる加工特性
甲藤正人,杉原隆明,加来昌典,横谷篤至,窪寺昌一
レーザー学会第480回研究会報告「レーザー応用」 RTM-15~31 31 - 36 2015年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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光電界電離アルゴンエキシマ増幅器を用いた超短パルス真空紫外レーザー 査読あり
加来昌典、甲藤正人、横谷篤至、窪寺昌一
レーザー学会誌 レーザー研究 43 ( 8 ) 537 - 541 2015年8月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Surface analysis by photo-stimulated desorption using tunable VUV radiation 査読あり
Masanori Kaku, Daichi Kai, Masahito Katto, Atushi Yokotani, Shoichi Kubodera, Wataru Sasaki
Applied Physics B 119 ( 3 ) 427 - 433 2015年5月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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High-intensity VUV laser system with OFI Ar<inf>2</inf> amplifier
Kaku M., Deshimaru N., Katto M., Kubodera S.
2014 IEEE Photonics Conference, IPC 2014 515 - 516 2014年12月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス) 出版者・発行元:2014 IEEE Photonics Conference, IPC 2014
© 2014 IEEE. We have constructed the high intensity VUV laser system with an optical-field-induced ionization (OFI) Ar2 amplifier. The evaluated maximum one-pass gain value of the OFI Ar2 amplifier was 1.17 cm-1.
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真空紫外光によって誘起される光脱離現象を利用した表面分析技術
加来昌典,甲斐大智,甲藤正人,横谷篤至,窪寺昌一
(社)レーザー学会第471回研究会報告「短波長量子ビーム発生と応用」 RTM-14-71〜77 13 - 16 2014年12月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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超短パルス短波長光源の開発とその応用
亀山晃弘,加来昌典,甲藤正人,窪寺昌一,横谷篤至
(社)レーザー学会第465回研究会報告「レーザー応用」 RTM-14-28〜35 2014年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Development of Ultrashort Pulsed VUV Laser and its Applications 査読あり
Masahito Katto, Masanori Kaku, Atsushi Yokotani, Kenzo Miyazaki, Noriaki Miyanaga, and Shoichi Kubodera
Journal of Laser Micro/Nanoengineering 9 ( 2 ) 108 - 112 2014年7月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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真空紫外光源の開発とマイクロ・ナノプロセシングへの応用 招待あり
甲藤正人,加来昌典,横谷篤至,窪寺昌一,佐々木亘
電気学会研究会資料 OQD-14-007 9 - 14 2014年3月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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高強度真空紫外光源の開発とその応用(共著)
甲藤正人,大休寺匠,加来昌典,宮永憲明,横谷篤至,窪寺昌一
(社)レーザー学会第455回研究会報告「短波長量子ビームの発生と応用」 RTM-13-80〜86 13 - 18 2013年12月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Optical amplification of VUV femtosecond pulses at 126 nm in OFI Ar <inf>2</inf>* amplifier
Kaku M., Daikyuji T., Fujiyoshi K., Katto M., Kubodera S.
2013 IEEE Photonics Conference, IPC 2013 53 - 54 2013年12月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等) 出版者・発行元:2013 IEEE Photonics Conference, IPC 2013
We have observed the spatially-resolved optical amplification of femtosecond VUV pulses at 126 nm using an OFI Ar2* amplifier. The maximum amplification ratio of 2.57 was observed, which corresponded to the optical gain of 0.94 cm-1. © 2013 IEEE.
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アルゴンエキシマ増幅器を用いた真空紫外フェムト秒パルスの増幅
加来昌典、大休寺匠、甲藤正人、宮永憲明、窪寺昌一
(社)レーザー学会第449回研究会報告「レーザー応用」 RTM-13-40〜45 29 - 32 2013年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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深紫外~極端紫外光源を活用した分析・計測技術の開発
亀山晃弘,加来昌典,甲藤正人,窪寺昌一,横谷篤至
(社)レーザー学会第449回研究会報告「レーザー応用」 RTM-13-40〜45 23 - 28 2013年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Development of ultrashort pulsed VUV laser and its applications
M. Katto, M. Kaku, A. Yokotani, K. Miyazaki, N. Miyanaga, and S. Kubodera
Proceedings of LPM2013 #13-040 2013年7月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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窪寺 昌一, 加来 昌典, 大休寺 匠, 藤吉 一行, 江崎 功浩, 甲藤 正人, 宮崎 健創
電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会 2013 ( 1 ) 21 - 23 2013年1月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等) 出版者・発行元:電気学会
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超短パルス真空紫外レーザの開発
加来昌典,江崎功浩, 大休寺匠, 藤吉一行, 甲藤正人,窪寺昌一, 宮崎健創,宮永憲明
(社)レーザー学会第436回研究会報告「短波長量子ビームの発生と応用」 RTM-12-56 1 - 5 2012年12月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Fabrication of Tilted Fiber Bragg Grating as A Sensor of Refractive Index of Liquids 査読あり
Akihiro KAMEYAMA, Eka MAULANA, Masahito KATTO, and Atsushi YOKOTANI
レーザー学会誌レーザー研究 40 ( 11 ) 883 - 887 2012年11月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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高輝度真空紫外光源の開発と極端紫外光極微細分析技術への展開
甲藤正人, 亀山晃弘, 加来昌典, 窪寺昌一, 横谷篤至
(社)レーザー学会第431回研究会報告「レーザー応用」 RTM-12-35 17 - 21 2012年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Novel method of pulsed laser deposition using liquid flow target
Katto M., Kaku M., Kubodera S., Yakotani A.
30th International Congress on Applications of Lasers and Electro-Optics, ICALEO 2011 1000 - 1004 2011年12月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス) 出版者・発行元:30th International Congress on Applications of Lasers and Electro-Optics, ICALEO 2011
We proposed a novel scheme for film deposition based on the pulsed laser deposition. We supply the liquid flow as target in and pulsed laser was irradiated it. Ablated species from the liquid-target was deposited on the substrate. In this method we can always obtain the constant target status and we can keep film quality as good for long time. First, we demonstrate to fabricate SnOxfilm using SnO2colloidal solution. We are now trying to fabricate a hydroxyapatite films suing a colloidal hydroxyapatite solution.
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Mo-Siミラーの光洗浄と光脱離分析評価(共著)
佐々木亘、瀧川靖雄,加来昌典、甲藤正人、窪寺昌一、横谷篤至、宮林延良
(社)レーザー学会第420回研究会報告「短波長光の発生とその応用」 11 31 - 36 2011年12月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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レーザー生成プラズマ極端紫外光源の開発と表面分析への応用(共著)
加来昌典、松浦悠太、甲藤正人、横谷篤至、窪寺昌一、佐々木亘、宮林延良
(社)レーザー学会第420回研究会報告「短波長光の発生とその応用」 11 25 - 30 2011年12月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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高強度真空紫外光源の開発とその応用(共著)
甲藤正人,大休寺匠,加来昌典,宮永憲明,横谷篤至,窪寺昌一
(社)レーザー学会第455回研究会報告「短波長量子ビーム発生と応用」 13 13 - 18 2011年12月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Vacuum ultraviolet Ar <inf>2</inf>* laser at 126 nm pumped by an infrared high-intensity laser
Kaku M., Katto M., Kubodera S.
2011 Int. Quantum Electron. Conf., IQEC 2011 and Conf. Lasers and Electro-Optics, CLEO Pacific Rim 2011 Incorporating the Australasian Conf. Optics, Lasers and Spectroscopy and the Australian Conf. 1550 - 1552 2011年12月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス) 出版者・発行元:2011 Int. Quantum Electron. Conf., IQEC 2011 and Conf. Lasers and Electro-Optics, CLEO Pacific Rim 2011 Incorporating the Australasian Conf. Optics, Lasers and Spectroscopy and the Australian Conf.
We have observed similar small signal gain coefficients of 0.84 and 0.86 cm -1 in two different experiments, where Ar 2* was produced in free space filled with Ar and inside an Ar-filled hollow fiber, respectively. © 2011 IEEE.
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NOVEL METHOD OF PULSED LASER DEPOSITION USING LIQUID FLOW TARGET(共著)
Masahito Katto1, Masanori Kaku, Shoichi Kubodera, Atsushi Yokotani
Proceedings of 30th International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics M803 2011年10月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Application of photo-stimulated desorption and decomposition process induced by VUV radiations to surface analysis(共著)
Masahito Katto, Masanori Kaku, Shoichi Kubodera, Atushi Yokotani, Nobuyoshi Miyabayashi, and Wataru Sasaki
Proceedings of LPM2011 #11-005 2011年9月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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高機能性センサー素子の作製を目指したFBG作成技術の開発(共著)
亀山晃弘, エカマウラナ, 甲藤正人, 横谷篤至
(社)レーザー学会第418回研究会報告「レーザー応用」 10 61 - 66 2011年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Amplification properties of vacuum ultraviolet Ar2 produced by infrared high-intensity laser
Kaku M., Harano S., Matsumoto R., Katto M., Kubodera S.
Optics Letters 36 ( 14 ) 2719 - 2721 2011年7月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌) 出版者・発行元:Optics Letters
We report optical amplification of Ar* 2 at 126nm, pumped by optical-field-induced ionization (OFI) created by an infrared high-intensity laser. A gain-length product of 0.84 was obtained by using multipass amplification with a vacuum ultraviolet (VUV) cavity. The gain-length product was increased up to 4.3 through the use of single-pass amplification with a VUV reflector and a hollow 5:0 cm-long fiber. Similar small signal gain coefficients of 0.84 and 0:86cm?1 were obtained in two different experiments, in which OFI Ar plasma gain media were produced in free space filled with Ar and inside an Ar-filled hollow fiber. © 2011 Optical Society of America.
DOI: 10.1364/OL.36.002719
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Amplification properties of vacuum ultraviolet Ar2* produced by infrared high-intensity laser(共著) 査読あり
M. Kaku, S. Harano, R. Matsumoto, M. Katto, and S. Kubodera
Optics Letters 36 ( 14 ) 2719 - 2721 2011年7月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Autocorrelation of femtosecond VUV pulses using multiphoton ionization
Kaku M., Nagaya W., Zushi H., Katto M., Kubodera S.
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering 7915 2011年3月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌) 出版者・発行元:Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
We have developed an autocorrelator utilizing multiphoton ionization of rare gases as a nonlinear medium to evaluate the pulse width of a femtosecond Ti:Sapphire laser at 882 nm. The autocorrelation width of 171 fs (FWHM) was evaluated by the autocorrelator utilizing nine-photon ionization of Ar. By using the ninth-order correlation factor of 1.06, the actual pulse width of 161 fs (FWHM) was determined, which was consistent to that of 165 fs (FWHM) measured with a two-photon autocorrelator. The autocorrelation measurement utilizing the multiphoton ionization of Ar should be applied to vacuum ultraviolet (VUV) ultrashort pulses at 126 nm, since neutral Ar atoms will be ionized by two-photon absorption. This method has a potential to become a versatile autocorrelator that characterizes femtosecond laser pulse widths in the wide spectral range between IR and VUV. © 2011 SPIE.
DOI: 10.1117/12.872099
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OFI argon excimer amplifier for intense femtosecond pulse generation in the vacuum ultraviolet
Kubodera S., Harano S., Matsumoto R., Kaku M., Katto M.
2010 23rd Annual Meeting of the IEEE Photonics Society, PHOTINICS 2010 274 - 275 2010年12月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス) 出版者・発行元:2010 23rd Annual Meeting of the IEEE Photonics Society, PHOTINICS 2010
We have developed an optical-field-induced ionization vacuum ultraviolet Ar2* excimer amplifier at 126 nm to amplify femtosecond VUV seed pulses that are generated by wavelength conversion of femtosecond infrared laser pulses. ©2010 IEEE.
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Development of ultra-short pulse VUV laser system for nanoscale processing(共著) 査読あり
Masahito Katto, Hironari Zushi, Wataru Nagaya, Shinya Harano, Ryota Matsumoto, Atushi Yokotani, Masanori Kaku, Shoichi Kubodera and Noriaki Miyanaga
Appl. Phys. A 101 ( 2 ) 297 - 301 2010年11月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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全固体近紫外レーザーよるファイバブラッググレーティング作製技術の開発 査読あり
横谷 篤至, 和佐本 真, 岩佐 洋助, 前薗 好成, 山本 郁夫, 甲藤 正人
レーザー研究 38 ( 10 ) 774 - 778 2010年10月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌) 出版者・発行元:The Laser Society of Japan
We have developed a new laser that emits radiation at a wavelength of 335.5 nm for the fabrication fi ber
DOI: 10.2184/lsj.38.774
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Vacuum ultraviolet argon excimer laser at 126 nm excited by a high intensity laser(共著)
M. Kaku, S. Harano, M. Katto, S. Kubodera
Proceedings of SPIE, XVIII International Symposium on Gas Flow, Chemical Lasers, and High-Power lasers 7751-651 2010年10月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Novel analysis system using surface desorption stimulated by VUV photons from laser-produced plasma(共著)
Masahito Katto, Masanori Kaku, Shoichi Kubodera, Atushi Yokotani,Nobuyoshi Miyabayashic and Wataru Sasaki
Proceedings of SPIE, XVIII International Symposium on Gas Flow, Chemical Lasers, and High-Power lasers 7751-51 2010年10月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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真空紫外光による光励起表面脱離プロセスと表面分析への応用(共著)
甲藤 正人,加来 昌典,窪寺 昌一,横谷 篤至,宮林 延良,佐々木 亘
(社)レーザー学会第404回研究会「レーザー応用」研究会報告 27 - 32 2010年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Separation Technique for Raisins and Stems Utilizing Characteristics of Polarization(共著) 査読あり
T. Kurosawa, A. Hosotani, T. Ohmiya, M. Horikoshi, M. Kanazawa, M. Katto, M. Kaku and S. Kubodera
Jpn. J. Appl. Phys. 49 098001-1 - 098001-2 2010年6月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Kaku M., Katto M., Kubodera S.
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering 7581 2010年5月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス) 出版者・発行元:Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
We report the optical amplification characteristics of an optical-field-induced-ionization (OFI) Ar2*excimer vacuum ultraviolet (VUV) amplifier at 126 nm by using two experimental approaches. We have observed the amplification of OFI Ar2*excimer emission and evaluated the gain length product of 1.0 by using an optical cavity. We also achieved the gain length product of 5.0 by measuring the one pass amplification inside a hollow fiber with the length of 5 cm. The use of a hollow fiber was effective to guide the VUV emission and to extend a gain length. A small signal gain coefficient of 1.0 cm-1was evaluated in both experimental approaches. © 2010 Copyright SPIE - The International Society for Optical Engineering.
DOI: 10.1117/12.840573
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レーザによるレーズンとステムの新しい選別技術(共著) 査読あり
黒澤崇, 細谷章, 大宮正, 堀越稔, 金澤正夫, 加来昌典, 甲藤正人, 窪寺昌一
レーザ加工学会誌 16 ( 4 ) 264 - 269 2010年3月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Generation of subpicosecond vacuum ultraviolet pulses at 126 nm by using harmonics of a subpicosecond Ti:Sapphire laser(共著) 査読あり
M. Katto, K. Oda, M. Kaku, A. Yokotani, S. Kubodera, N. Miyanaga and K. Mima
Optics Commnications 283 414 - 416 2010年1月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Femtosecond vacuum ultraviolet seed pulse generation at 126 nm by using harmonic radiation
Kubodera S., Kaku M., Nagaya W., Zushi H., Harano S., Matsumoto R., Katto M.
Conference Proceedings - Lasers and Electro-Optics Society Annual Meeting-LEOS 116 - 117 2009年12月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス) 出版者・発行元:Conference Proceedings - Lasers and Electro-Optics Society Annual Meeting-LEOS
We report femtosecond seed pulse generation at 126 nm using the 7th harmonic radiation from a Ti:Sapphire laser at 882 nm. The 7th harmonic emission was optimized in a low pressure Xe as a nonlinear medium. © 2009 IEEE.
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レーザー生成プラズマ極端紫外光源を用いた光脱離質量分析装置の開発(共著)
加来昌典,甲藤正人,横谷篤至,窪寺昌一,佐々木亘,宮林延良
レーザー学会第394回研究会報告「短波長光の発生とその応用」 1 - 6 2009年12月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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GENERATION AND AMPLIFICATION OF ULTRA-SHORT-PULSED VACUUM ULTRAVIOLET RADIATION (共著)
Masahito Katto, Atushi Yokotani, Masanori Kaku, Shoichi Kubodera, and Noriaki Miyanaga
Proceedings of 28th International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics (ICALEO 2009) M108 2009年11月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Mass spectrometric study of photo dissociation of organic molecules by vacuum-ultraviolet irradiation for development of analysis technique(共著) 査読あり
M. Wasamoto, M. Katto, M. Kaku, S. Kubodera, A. Yokotani
Appllied Surface Science 255 9557 - 9908 2009年9月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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高機能性光源を用いた新しい産業技術への応用(共著)
亀山晃弘,福永出,岡崎裕太郎,黒江康博,高野智也,若松利享,ヌルフスナ ビンティ カイリル,甲藤正人,横谷篤至
レーザー学会第391回研究会「レーザー応用」 25 - 30 2009年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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高強度レーザー励起真空紫外レーザー(共著)
加来昌典,原野慎也,松本亮大,甲藤正人,窪寺昌一
レーザー学会第391回研究会「レーザー応用」 1 - 6 2009年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Laser-assisted laser ablation method for high-quality hydroxyapatite coating onto titanium substrate(共著) 査読あり
H. Katayama, M. Katto, T. Nakayama
Surface and Coating Technology 204 135 - 140 2009年8月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Debris characteristics and mitigation of a laser plasma tin-contained liquid jet/droplet targets
Kaku M., Touge S., Katto M., Kubodera S.
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering 7271 2009年6月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌) 出版者・発行元:Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
We realized a laser-plasma EUV target, which satisfied the high EUV CE and the debris suppression simultaneously by using low-concentration liquid jet/droplet targets containing tin oxides and chlorides. Plasma regulation by double pulse irradiation improved the EUV CE. In terms of the debris emissions, we reduced the amount of the deposited tin oxide by applying in situ heat and high-energy photons onto a witness plate. These active debris suppression resulted in the decrease of the deposition rate and deoxidation of the debris, respectively. The use of tin chloride liquid target also realized a well-balanced debris behavior, where deposited debris was cleaned by chlorine atoms or ions, resulting in an approximately zero deposition rate. ©2009 SPIE.
DOI: 10.1117/12.813479
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Harmonic Generation in VUV Spectral Region Driven by a NIR Ti:Sapphire Laser in Rare Gases(共著)
M. Katto, K. Oda, M. Kaku, S. Kubodera, A. Yokotani, N. Miyanaga and K. Mima
Proceeding of SPIE, XVII International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers & High Power Lasers 7131 713118-1 - 713118-5 2009年6月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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EUV and debris characteristics of a laser-plasma tin-dioxide colloidal target(共著)
Shoichi Kubodera, Masanori Kaku, Shunsuke Touge, and Masahito Katto
Proceeding of SPIE, XVII International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers & High Power Lasers 7131 71311O-1 - 71311O-7 2009年6月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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OFI Argon Excimer Amplifier for Intense Subpicosecond VUV Pulse Generation(共著)
Masanori Kaku, Shoichi Kubodera, Kazuyoshi Oda, Masahito Katto, Atsushi Yokotani, Noriaki Miyanaga, and Kunioki Mima
Proceeding of SPIE, XVII International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers & High Power Lasers 7131 71311C-1 - 71311C-6 2009年6月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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OFI rare-gas excimer amplifier for high-intensity VUV pulse generation(共著)
Masahito Katto, Masanori Kaku, Kazuyoshi Oda, Tadashi Kamikihara, Atsushi Yokotani, Shoichi Kubodera Noriaki Miyanaga, and Kunioki Mima
Proceedings of SPIE, High Energy/Average Power Lasers and Intense Beam Applications III 7196 71930L-1 - L-8 2009年1月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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紫外・真空紫外光源の開発と光プロセスへの応用(共著)
甲藤正人,小田一義,上木原忠,和佐本真、高野智也、亀山晃弘、加来昌典,窪寺昌一,横谷篤至,宮永憲明,三間國興
レーザー学会第381回研究会報告「短波長光の発生とその応用」 RTM-08-43 5 - 10 2008年12月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)
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EUV and debris characteristics of a laser-plasma tin dioxide nano-particle colloidal jet target
Kaku M., Suetake S., Senba Y., Katto M., Kubodera S.
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering 6921 2008年12月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス) 出版者・発行元:Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
Debris characteristics and its reduction have been investigated for a laser-produced plasma (LPP) extreme ultraviolet (EUV) source using a colloidal jet target containing tin dioxide nano-particles. Dominant deposited debris on a witness plate was found to have a form of oxidized tin (SnOx) originated from nano-particles. Quantitative debris amounts were determined by total laser energy irradiated onto a target, not by laser irradiation modes, such as single or double pulse irradiation. In-situ low-temperature (100 °C) heating of a plate was effective to reduce the deposited debris amount, since colloidal debris was easily vaporized by the heat. Another approach to remove the deposited debris was roomtemperature photon processing using incoherent vacuum ultraviolet (VUV) emission at 126 nm. X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) analysis has shown that the deposited SnOx debris layer was deoxidized by the 126 nm VUV photon energy.
DOI: 10.1117/12.771542
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Nano-particles of hydroxyapatite formed by underwater laser ablation method
Katto M., Kuroe Y., Kaku M., Kubodera S., Yokotani A., Katayama H., Nakayama T.
ICALEO 2008 - 27th International Congress on Applications of Lasers and Electro-Optics, Congress Proceedings 65 - 67 2008年12月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス) 出版者・発行元:ICALEO 2008 - 27th International Congress on Applications of Lasers and Electro-Optics, Congress Proceedings
Hydroxyapatite (HAp) is a biocompatibility material. We have successfully obtained the nano-particles of hydroxyapatite by the underwater laser ablation. A sintered HAp ceramics target was made of commercially available HAp powder and it was placed in the purified water. The focused KrF excimer laser outputs were irradiated on the target surface at the fluence from 7 J/cm2 to 23 J/cm2 at the repetition rate of 100 Hz. We found that the amount of the particles increased in proportional to the laser fluence. However, the rate of content of sub-micron particles was became larger at the lower laser fluence. The particles made by 7J/cm2 laser ablation were dispersing in the water for 12 hours after stopping the laser irradiation.
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Auto-cleaning of deposited tin debris in a laser-produced plasma extreme ultraviolet source by using a liquid jet target containing tin chloride(共著) 査読あり
M. Kaku, S. Suetake, Y. Senba, M. Katto, S. Kubodera
Applied Physics B 93 361 - 364 2008年10月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Study of refractive index change in Ge-doped fibers with vacuum ultraviolet light irradiation 査読あり
Maezono Y., Iwasa Y., Wasamoto M., Yamamoto I., Katto M., Yokotani A.
Japanese Journal of Applied Physics 47 ( 9 PART 1 ) 7266 - 7268 2008年9月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌) 出版者・発行元:Japanese Journal of Applied Physics
We determined that refractive index change of Ge-doped silica can be induced by vacuum ultraviolet (VUV) light irradiation from Xe 2*, Kr2*, and Ar2* excimer lamps using fabricated fiber Bragg grating (FBG) in the core of the hydrogen-loaded fiber as the material. It was found that irradiation with light from Xe2* and Kr2* excimer lamps can change the refractive index in the core and irradiation with light from Ar 2* excimer lamps cannot. The change in refractive index under 146 nm light irradiation was greater than that under 172 nm light irradiation. The change in refractive index induced by irradiation with VUV light can be maintained up to approximately 130°C. © 2008 The Japan Society of Applied Physics.
DOI: 10.1143/JJAP.47.7266
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高機能性光源によるマテリアルプロセッシング(共著)
亀山 晃弘,和佐本 真,福永 出,岡崎 裕太郎,黒江 康博,高野 智也,若松 利享,甲藤 正人,横谷 篤至
レーザー学会第378回研究会報告「レーザー応用」 RTM-08-35 33 - 38 2008年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Development of Intense Vacuum Ultraviolet Laser Systemfor Precise and Microscopic Processing(共著)
M. Katto, A. Yokotani, M. Kaku, K. Oda, S. Kubodera, N. Miyanaga and K. Mima
Proceedings of LPM 2008 #8-16 2008年9月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Deposited debris characteristics and its reduction of a laser-produced plasma extreme ultraviolet source using a colloidal tin dioxide jet target(共著) 査読あり
Masanori Kaku, Sumihiro Suetake, Yusuke Senba, Shoichi Kubodera, Masahito Katto, and Takeshi Higashiguchi
Appllied Physics Letter 92 181503 2008年5月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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高輝度真空紫外コヒーレント光源の開発(共著)
甲藤正人,小田一義,谷口雄太,加来昌典,横谷篤至,窪寺昌一,宮永憲明,三間國興
レーザー学会第368回研究会報告「短波長光の発生とその応用」 RTM-07-47 13 - 18 2007年12月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Kaku M., Suetake S., Senba Y., Sato Y., Katto M., Kubodera S.
Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO - Technical Digest 2007年12月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌) 出版者・発行元:Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO - Technical Digest
Characteristics of emitted particles from a laser-produced tin plasma using a colloidal tin dioxide nano-particle jet target were investigated. By using double laser pulses, the EUV conversion efficiency at 13.5 nm and the ion energy were simultaneously regulated. Deposited amount of tin oxide was not well controlled, however.
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Kaku M., Katto M., Kubodera S.
26th International Congress on Applications of Lasers and Electro-Optics, ICALEO 2007 - Congress Proceedings 2007年12月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス) 出版者・発行元:26th International Congress on Applications of Lasers and Electro-Optics, ICALEO 2007 - Congress Proceedings
We investigated the effective technique for debris suppression of a laser-produced tin plasma using a colloidal tin dioxide jet target, as well as the EUV emission and debris characteristics of the target. By using double pulse laser irradiation with an optimum delay of 100 ns, the EUV conversion efficiency of 1.2% at 13.5 nm was observed. The peak energy and intensity of ionic debris were simultaneously reduced by the double laser pulse irradiation. The peak kinetic energy of the singly-ionized tin ion was reduced from 9 to 3 keV, when an expanding low-density preplasma was produced. The dominant debris from a laser-produced tin plasma, which was deposited on a witness plate, was found to be oxidized tin (SnOx). By heating a witness plate at 100 °C, the deposited debris amount decreased to approximately one third.
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OFI vacuum ultraviolet rare-gas excimer amplifier for subpicosecond VUV pulse amplification
Kaku M., Taniguchi Y., Hosotani A., Katto M., Yokotani A., Miyanaga N., Mima K., Kubodera S.
Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO - Technical Digest 2007年12月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等) 出版者・発行元:Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO - Technical Digest
We evaluated amplification characteristics of the nanosecond vacuum ultraviolet argon excimer emission at 126 nm, whose kinetics was initiated by high-intensity femtosecond laser-produced electrons. Subpicosecond 126 nm emissions were produced simultaneously as a result of the nonlinear wavelength conversion, which will be amplified in the amplifier.
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Generation of intense vacuum ultraviolet radiations for advanced materials processing
Katto M., Yokotani A., Kubodera S., Kaku M., Hosotani A., Miyanaga N., Mima K.
26th International Congress on Applications of Lasers and Electro-Optics, ICALEO 2007 - Congress Proceedings 2007年12月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス) 出版者・発行元:26th International Congress on Applications of Lasers and Electro-Optics, ICALEO 2007 - Congress Proceedings
We have been developing high intensity vacuum ultraviolet (VUV) laser system for advanced applications such as micro and precise processing and photochemical reactions. We propose and construct a new VUV laser system to generate an output energy of sub mJ with a pulse width of subpicosecond at the wavelength of 126nm. A seed pulse was generated in Xe as the 7th harmonics of a 882 nm Ti:sapphire laser, and the Ar2* amplifier media were generated in an optical-field-induced ionization Ar plasma produced by another 785 nm Ti:sapphire laser. The VUV radiation should be further amplified in a discharge-pumped Ar2* amplifier, which is under construction.
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Damage threshold of acrylic polymer jackets surrounded with optical fiber by UV laser
Maezono Y., Yousuke I., Kurosawa K., Katto M., Yokotani A.
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering 6346 PART 2 2007年11月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌) 出版者・発行元:Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
Fabrication technique of fiber Bragg gratings (FBG) sensors, which is used the measurement of distortions of large scale architectural structures, requires a skillful technique, and consequently the costing becomes a problem. The fabrication technique without removing a polymer jacket can realize much easier fabrication and the cheaper cost. We have investigated the laser damage threshold of jackets in order to realize such a fabrication technique. The 3rd and the 4th harmonics of repetitive Nd:YAG laser pulse were used as light sources. An optical fiber coated untinged polymer jackets is used as a sample. The numbers of the shots against the same sample position was varied from 1 to 1200. As a result, damage thresholds at the shot number of 1200 were 6.9 J/cm 2 and 0.9 J/cm 2 for the wavelength of 355 nm and 266 nm, respectively. These values are corresponding to intensity of 1.3 MW/cm 2 and 0.3 MW/cm 2 , respectively. It is considered that the fabrication of FBG, which need a typical intensity of ∼kW/cm 2 , without removing the jacket should be possible by controlling the laser intensity between this level and the threshold.
DOI: 10.1117/12.739105
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Enhancement of extreme ultraviolet emission from a lithium plasma by use of dual laser pulses
Higashiguchi T., Kawasaki K., Senba Y., Suetake S., Katto M., Kubodera S.
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering 6346 PART 2 2007年11月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス) 出版者・発行元:Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
We demonstrated enhancement of extreme ultraviolet (EUV) emission at 13.5 nm from a lithium plasma by use of dual laser pulses. A single laser pulse produced a lithium plasma condition for the EUV emission far beyond its optimum. Utilization of dual laser pulses, however, enhanced the EUV emission energy, and its maximum in-band EUV conversion efficiency (CE) in a measured solid angle was observed to be 2% at a delay time between 20 and 50 ns.
DOI: 10.1117/12.739115
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Higashiguchi T., Dojyo N., Senba Y., Suetake S., Katto M., Kubodera S.
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering 6346 PART 1 2007年11月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス) 出版者・発行元:Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
We demonstrated a debris-free, efficient laser-produced plasma extreme ultraviolet (EUV) source by use of a regenerative liquid microjet target containing tin-dioxide (SnO2) nano-particles. By using a low SnO2concentration (6%) solution and dual laser pulses for the plasma control, we observed the EUV conversion efficiency of 1.2% with undetectable debris.
DOI: 10.1117/12.737382
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Suppression of suprathermal ions from a colloidal microjet target containing SnO2 nanoparticles by using double laser pulses(共著) 査読あり
Takeshi Higasiguchi, Masanori Kaku, Masahito Katto, and Shoichi Kubodera
Applied Physics Letters 91 ( 15 ) 151503 - 151505 2007年10月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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EUV and Debris Characteristics of a Laser Produced Tin Plasma using a Colloidal Tin Dioxicide Jet Target(共著)
Masanori Kaku, Masahito Katto, Shoichi Kubodera
Congress Proceedings of 26th International Congress on Applicatons of Lasers & Electro-Optics (ICALEO) 100 325 - 331 2007年10月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Generation of Intense Vacuum Ultraviolet Rasdiations for Advanced Material Processing(共著)
Masahito Katto, Atsushi Yokotani, Shoichi Kubodera, Masanori Kaku, Akira Hosotani, Noriaki Miyanaga, Kunioki MIma
Congress Proceedings of 26th International Congress on Applicatons of Lasers & Electro-Optics (ICALEO) 100 332 - 335 2007年10月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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高機能性光源を用いたマテリアルプロセッシングの研究(共著)
亀山晃弘,長友章悟,中村幸司,福永出,和佐本真,甲藤正人,横谷篤至
レーザー学会第364回研究会報告「レーザー応用」 RTM-07-30 15 - 20 2007年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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高強度真空紫外アルゴンエキシマレーザーの開発(共著)
加来昌典,谷口雄太,細谷章,甲藤正人,横谷篤至,窪寺昌一,宮永憲明,三間圀興
レーザー学会第364回研究会報告「レーザー応用」 RTM-07-34 37 - 42 2007年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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PLD法による多結晶ハイドロキシアパタイト被膜の室温成長(共著)
甲藤正人、横谷篤至、窪寺昌一、加来昌典、塚本雅裕、阿部信行、片山貴博、中山斌義、藤田雅之
レーザー学会第364回研究会報告「レーザー医学・生物学応用」 RTM-07-23 7 - 11 2007年8月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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High speed imaging of drilling process of thin silicon substrate with double pulsed femtosecond laser(共著)
A. Yokotani, H. Fukumoto, Y. Kanamitsu, S. Nagatomo, Y. Maezono, M. Katto
Proceeding of SPIE, XVII International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers & High Power Lasers 6346 63462V-1 - 63462V-7 2007年7月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Pulsed Laser Deposition for Poly-Crystalline Hydroxyapatite Coating(共著)
M. Katto, K. Ishibashi, A. Yokotani, T. HIgashiguchi, S. Kubodera, K. Kurosawa, T. Nakayama, H. Katayama, M. Fujita, N. Abe, M. Tusukamoto
Proceeding of SPIE, XVII International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers & High Power Lasers 6346 63463E-1 - 63463E-6 2007年7月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Enhancement of Extreme Ultraviolet Emission from a lithium Plasma by use of Dual Laser Pluses(共著)
T. Higashiguchi, T. Senba, S. Suetake, M. Katto, W. Sasaki, S. Kubodera
Proceeding of SPIE, XVII International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers & High Power Lasers 6346 63462R-1 - 63462R-5 2007年7月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Damage Threshold of Acrylic Polymer Jackets Material of Optical Fiber by Near and Deep UV Laser(共著)
Y. Maezono, Y. Iwasa, K, Kurosawa, M. Katto, A. Yokotani
Proceeding of SPIE, XVII International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers & High Power Lasers 6346 63462O-1 - 63462O-5 2007年7月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Vacuum Ultraviolet Argon Excimer Laser Initiated by Optical-Field-Induced Ionization Electrons(共著)
S. Kubodera, Y. Taniguchi, T. Higashiguchi, M. Katto
Proceeding of SPIE, XVII International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers & High Power Lasers 6346 63460R-1 - 63460R-663460R-6 2007年7月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Silicon Nitride Film Deposition by Photochemical Vapor Deposition Using an Argon Excimer Lamp(共著) 査読あり
Yoshinari Maezono, Kiyohiko Toshikawa, Kou Kurosawa, Kouichi Amari, Sou Ishimura, Masahito Katto, and Atsushi Yokotani
Japanese Journal of Applied Physics 46 ( 6A ) 3534 - 3536 2007年6月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Effect of Laser Fluence on Poly-crystallization of Hydroxyapatite Film Coated by PLD Method(共著) 査読あり
Masahito Katto, Kenzo Ishibashi, Atsushi Yokotani, Shoichi Kubodera, Takeshi Higashiguchi, Kou Kurosawa, Takeyoshi Nakayama, Hirotaka Katayama, Masayuki Fujita, Masahiro Tsukamoto and Nobuyuki Abe
Journal of Laser Micro/Nanoengineering 2 ( 2 ) 152 - 155 2007年6月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Subpicosecond vacuum ultraviolet laser system for advanced material processing(共著)
S. Kubodera, Y. Taniguchi, A. Hosotani, M. Katto, A. Yokotani, N. Miyanaga and K. Mima
Proceedings of SPIE , Laser Resonators and Beam Control IX 6452 645216-1 - 645216-8 2007年6月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Crystallized hydroxyapatite coatings deposited by PLD with targets of different densities(共著) 査読あり
Masahito Katto, Kenzo Ishibashi, Kou Kurosawa, Atushi Yokotani, Shoichi Kubodera, Akihiro Kameyama, and Takeshi Higashiguchi
Journal of Physics : Conference Series 59 75 - 78 2007年5月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Microstructure Formation on Titaium Plate by Femtosecond Laser Ablation(共著) 査読あり
M. Tsukamoto, N. Abe, T. Kayahara, K. Asuka, M. Hashida, H. Nakano, M. Fujita and M. Katto
Journal of Physics : Conference Series 59 666 - 669 2007年5月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Crystallized hydroxyapatite coatings deposited by PLD with targets of different densities
Katto M., Ishibashi K., Kurosawa K., Yokotani A., Kubodera S., Kameyama A., Higashiguchi T., Nakayama T., Katayama H., Tsukamoto M., Abe N.
Journal of Physics: Conference Series 59 ( 1 ) 75 - 78 2007年4月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌) 出版者・発行元:Journal of Physics: Conference Series
We successfully achieved the poly-crystallized coatings of bio-active hydroxyapatite on titanium plates. We used several ceramic HAp targets sintered at a temperature of 500°C, 700°C, 900°C and 1100°C, and irradiation by KrF excimer laser at a fluence of about 4J/cm 2 . The depositions were performed under 1Torr H 2 O atmosphere at room temperature. In this condition, a poly-crystallized HAp layer was formed only using a target sintered at 900°C. We estimated the charged fragments from these targets by a simple ion-probe collection and found that the energy distribution of charged fragments depended on the densities of the targets. © 2007 IOP Publishing Ltd.
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Growth of β-FeSi2 Thin Films on Silicon Substrates by Pulsed Laser Deposition Using ε-FeSi Alloy Targets(共著) 査読あり
M. Tode, Y. Takigawa, M. Muroya, M. Katto, K. Kurosawa, and M. Ohmukai
Japanese Journal of Applied Physics 46 ( 2 ) 651 - 653 2007年2月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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真空紫外光で拓く環境調和型プロセス—真空紫外領域における光源の開発とその応用技術の開発—(共著) 招待あり
甲藤正人、窪寺昌一、横谷篤至
ケミカルエンジニアリング 52 ( 1 ) 66 - 71 2007年1月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)
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紫外光レーザーを用いた光ファイバーセンサー作製技術の開発(共著)
前薗好成、岩佐洋助、山本郁夫、甲藤正人、横谷篤至
レーザー学会第355回研究会報告「レーザー応用」 RTM-06 31 - 36 2006年11月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)
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レーザーを用いた食品異物検出装置の開発(共著)
黒澤崇、田中孝幸、松本浩、大宮正、堀越稔、金澤正夫、甲藤正人、黒澤宏
レーザー学会第355回研究会報告「レーザー応用」 RTM-06 27 - 30 2006年11月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)
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LALA法におけるHAp被膜に及ぼすアシストレーザー照射タイミングの影響 査読あり
片山博貴、石橋圭介、百々正洋、橋新裕一、甲藤正人、中山斌義
電気学会論文誌C 126 ( 11 ) 1283 - 1289 2006年11月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Maezono Yoshinari, Iwasa Yosuke, Kurosawa Kou, Katto Masahito, Yokotani Atsushi
Jpn J Appl Phys 45 ( 35 ) L944 - L946 2006年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌) 出版者・発行元:Japan Society of Applied Physics
Room temperature (RT) deposition of silica thin films is available with vacuum ultraviolet (VUV) chemical vapor deposition (CVD) technique. However, the quality of the films with VUV-CVD was inferior to that with conventional methods. In this work, we have investigated the photochemical reaction using an Ar2* excimer lamp. After 1-min deposition, the irradiation of Ar2* excimer lamp to the obtained film was operated with the evacuation in the chamber. From the result of Fourier transmission infrared spectrometer spectra and an X-ray photoelectron spectroscope measurement, it was found that hydrogen and hydrocarbon, such as CH3, was reduced with the irradiation of Ar2* excimer lamp. Therefore, it was considered that the film with low impurities could be obtained at RT by this technique. This technique is considered to be effective, because the operation could have performed at RT. We can conclude that this method will be a very useful method for no damage process of ultra large scale integration production in the semiconductor industry.
DOI: 10.1143/JJAP.45.L944
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Periodic microstructures produced by femtosecond laser irradiation on titanium plate(共著) 査読あり
Masahiro Tsukamoto, Keita Asuka, Hitoshi Nakano, Masaki Hashida, Masahito Katto, Nobuyuki Abe and Masayuki Fujita
Vacuum 80 1346 - 1350 2006年9月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Pulsed Laser Deposition Methods for Poly-Crystallized Hydroxyapatite Coatings(共著) 査読あり
Masahito Katto, Kou Kurosawa, Atsushi Yokotani, Shouichi Kubodera, Takeshi Higashiguchi, Akihiro Kameyama, Takeyoshi Nakayama, Hirotaka Katayama, Masahiro Tsukamoto and Nobuyuki Abe
SMART PROCESSING TECHNOLOGY 1 5 - 8 2006年8月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Nitridation in Photon-Assisted Process using an Argon Excimer Lamp(共著) 査読あり
K. Toshikawa, K. Amari, S. Ishimura, M. Katto, A. Yokotani, and K. Kurosawa
Japanese Journal of Applied Physics 45 ( 5A ) 4012 - 4014 2006年6月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Effect of laser fluence on poly-crystallized hydroxyapatite film coated by PLD method(共著) 査読あり
Kenzo Ishibashi, Masahito Katto, Atsushi Yokotani, Shoichi Kubodera, Akihiro Kameyama, Takeshi Higashiguchi, Kou Kurosawa, Takeyoshi Nakayama, Hirotaka Katayama, Masayuki Fujita, Masahiro Tsukamoto and Nobuyuki Abe
Online Proceeding of LAMP2006 #06-40 ( Fr3-4 #34 ) 2006年5月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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フェムト秒レーザー誘起表面周期構造の金属インプラントへの応用(共著)
川原公介,沢田博司,武田昭二,甲藤正人
電気学会研究会資料 光・量子デバイス研究会「レーザーアブレーションその他」 OQD-06-1-11 1 - 4 2006年3月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)
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高エネルギー及び高輝度光源を用いたマテリアルプロセッシングの研究(共著)
亀山晃弘,甲藤正人,横谷篤至,黒澤宏
レーザー学会第341回研究会報告レーザー応用 RTM-05-32 5 - 10 2005年11月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)
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Poly-crystallized hydroxyapatite coating deposited by pulsed laser deposition method at room temperature(共著) 査読あり
M. Katto, K. Kurosawa, A. Yokotani, S. Kubodera, A. Kameyama, T. Higashiguchi, T. Nakayama and M. Tsukamoto
Applied Surface Science 248 ( 1-4 ) 365 - 368 2005年7月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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甲藤 正人, 黒澤 宏, 横谷 篤至, 窪寺 昌一, 亀山 晃弘, 東口 武史, 中山 斌義, 塚本 雅裕, 阿部 信行
電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会 2004 ( 32 ) 7 - 11 2004年11月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)
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紫外レーザーを用いたファイバーグレーティングセンサーの作製と特性評価(共著)
加藤隆晴,佐藤明子,福島康広,亀山晃弘,甲藤正人,横谷篤至,黒澤宏
宮崎大学工学部紀要 33 81 - 86 2004年10月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(大学,研究機関等紀要)
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ファイバーグレーティングセンサ反射特性のシミュレーションによる解析(共著)
佐藤明子,福島康広,加藤隆晴,亀山晃弘,甲藤正人,横谷篤至,黒澤宏
宮崎大学工学部紀要 33 81 - 86 2004年10月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(大学,研究機関等紀要)
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Hot Ion Beam Generation from Rare-Gas Cryogenic Targets 査読あり
Rajyaguru Chirag, Higashiguchi Takeshi, Maezono Yoshinari, Katto Masahito, Yokotani Atsushi, Kurosawa Kou, Sasaki Wataru, Kubodera Shoichi
Japanese journal of applied physics. Pt. 2, Letters 43 ( 7 ) L898 - L900 2004年7月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌) 出版者・発行元:Japan Society of Applied Physics
Energetic ions having a maximum velocity of the order of $10^{7}$ cm/s were detected in the interaction of a frequency-doubled $Q$-switched Nd:YAG laser with rare-gas cryogenic targets at the laser intensity of $1 \times 10^{12}$ W/cm2. It was observed that the angular distribution of ions strongly peaked in the target normal direction confined to a narrow range of angle following $\sim\cos^p\theta$ ($ p=3--5$). Scaling of the ion current and their velocity as a function of an incident laser energy were investigated. To analyze the effect of energetic particles from a plasma, a silicon substrate was used as a particle target. Its surface morphology revealed that micron-size solid fragments from the target dominantly affected the silicon surface.
DOI: 10.1143/JJAP.43.L898
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High-quality hydroxyapatite coating on biocompatible materials by laser-assisted laser ablation method(共著)
T. Nakayama , T. Tanaka, Y. Tsumoto, H. Katayama , M. Katto
Applied Physics. A 79 ( 4-6 ) 833 - 836 2004年7月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Al2O3 セラミクスのフェムト秒レーザアブレーション(共著) 査読あり
長嶋謙吾,橋田昌樹,甲藤正人,塚本雅裕,藤田雅之,井澤靖和
電気学会論文誌 C 124 ( 2 ) 388 - 392 2004年2月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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フェムト秒レーザーによる表面加工技術と実用化への課題(共著)
藤田雅之、橋田昌樹、甲藤正人、塚本雅裕
第60回レーザー加工学会論文集 43 - 48 2003年12月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)
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フェムト秒レーザを用いたTi基板の穴開け加工(共著) 査読あり
塚本雅裕、阿部信行、橋田昌樹、藤田雅之、甲藤正人、井澤靖和
プラズマ応用科学 11 144 - 120 2003年12月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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パルスレーザー堆積法による機能性材料被膜の形成〜構造制御と基礎過程の解明に向けて〜(共著)
甲藤正人、黒澤宏、中山斌義、塚本雅裕、瀧川靖雄、高橋健治
レーザー学会第317研究会報告レーザー応用 RTM-03-44 37 - 42 2003年11月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)
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Femtosecond Laser Ablation of Titanium for Hole Formation(共著) 査読あり
M. Tsukamoto, M. Hashida, M. Fujita, N. Abe, Y. Izawa, M. Katto
ADVANCES IN APPLIED PLASMA SCIENCE, Proceedings of ISAP '03 4 355 - 360 2003年8月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Hydroxyapatite coatings using novel pulsed laser ablation methods(共著) 査読あり
M. Katto, M. Nakamura, T. Tanaka, T. Matsutani, M. Kuwata, T. Nakayama
Surface and Coating Technology 169-170 712 - 715 2003年4月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Hydroxyapatite coating on titanium plate with an ultra-fine particle beam(共著) 査読あり
M. Tsukamoto, T. Fujihara, N. Abe,S. Miyake, M. Katto, T. Nakayama , J. Akedo
Japanese Journal of Applied Physics 42 L120 - L122 2003年3月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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金属のフェムト秒レーザアブレーション -新加工現象の特徴とナノ構造形成-(共著) 査読あり
橋田昌樹、長嶋謙吾、藤田雅之、塚本雅裕、甲藤正人、井澤靖和
9th Symposium on "Microjoining and Assembly Technology in Electronics (Mate 2003)" 517 - 522 2003年2月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Hydroxyapatite coatings deposited by laser-assisted laser ablation method(共著) 査読あり
M. Katto, M. Nakamura, T. Tanaka, T. Nakayama
Applied Surface Science 197-198 768 - 771 2002年9月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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レーザーアブレーション法による HAp コーティング層のターゲット材料効果(共著)
甲藤正人、中村昌弘、田中俊治、中山斌義
レーザー学会第289回研究会報告レーザー医学・生物学応用 RTM-01-29 86 - 90 2001年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)
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Detection of vacuum ultraviolet radiation with optical storage film, imaging plate 査読あり
Katto M., Takigawa Y., Kurosawa K., Takahashi K., Yamanaka T.
Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO - Technical Digest 137 - 138 2000年12月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等) 出版者・発行元:Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO - Technical Digest
The sensitivity characteristics of the InP in the ultraviolet (UV) and VUV region were clarified. Sensitive function of the IP was measured using outputs from SR and D2lamp through a monochrometer as incident photons. An ArF excimer laser was also used to measure the spation resolution.
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水晶振動子型ガスセンサーによる嗅覚基準臭物質の識別(共著) 査読あり
村上正憲、甲藤正人、大西俊四郎、栗岡豊
電気学会論文誌E 119-E ( 1 ) 44 - 48 1999年11月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Masanori M., Katto M., Ohnishi S., Kurioka Y.
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 119 ( 1 ) 44 - 48 1999年
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌) 出版者・発行元:IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
Discrimination of odorous materials by the quartz resonator sensors with synthetic lipid membranes was investigated Using five sensors with various membranes, we measure responses to five odorous materials which were included in the T&T olfactmeter for testing a human olfactory sense. Discrimination from the patterns of the sensors response were difficult because the patterns were similar. We apply a principal component analysis to the sensor responses. The result was largely influenced by the concentrations of the odorous materials. With a discriminant analysis, the five odorous materials were found to be well discriminanted, even though the concentrations were different. We also found that the time constants of the sensor responses were also good parameters for discrination and it enables to shorten the time for measurement. © 1999, The Institute of Electrical Engineers of Japan. All rights reserved.
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紫外線領域におけるイメージングプレートの感度応答特性(共著) 査読あり
山下洋、甲藤正人、大西俊四郎、栗岡豊、瀧川靖雄、黒澤宏、山中龍彦、宮原諄二
レーザー学会誌レーザー研究 26 ( 11 ) 812 - 815 1998年11月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Measurement of T&T Olfactometer Standard Odors Using Quartz Resonator Gas Sensors(共著) 招待あり 査読あり
F. Hamanaka, M. Katto, S. Ohnishi, Y. Kurioka
Electrical Engineering in Japan 120 ( 1 ) 49 - 54 1997年10月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Katto M., Ohnishi S., Kurioka Y., Takigawa Y., Kurosawa K.
Materials Research Society Symposium - Proceedings 453 277 - 282 1997年
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス) 出版者・発行元:Materials Research Society Symposium - Proceedings
An imaging plate containing photostimulable phosphor material, BaFBr:Eu2+, was found to be applicable to store images for nanosecond pulses as well as quasi-continuous radiations in 4-35 eV photon energy range. The sensitivity, which was defined as photostimulated luminescence intensity for a given incident photon number increased with the photon energy and had a peak at 6.2 eV. The intensity of the luminescence was confirmed to increase in proportion to incident photon numbers of the radiation. The readout system was improved and then pattern images were successfully restored. The resolution of imaging plate was found to be lower than 100 μm with our system, which depends on the intensity of a He-Ne laser for restoring images.
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水晶振動子型ガスセンサによるT&Tオルファクトメーター基準臭の計測(共著) 査読あり
濱中史紀、甲藤正人、大西俊四郎、栗岡豊
電気学会論文誌C 116-C ( 11 ) 1276 - 1280 1996年11月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Electron Beam Pumped Argon-Excimer Laser Using an Unstable Resonator(共著) 査読あり
M. Katto, M. Okuda, W. Sasaki, K. Kurosawa, Y. Kato
IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics 1 ( 3 ) 924 - 930 1995年9月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Electron Beam Pumped Argon-Excimer Laser Using an Unstable Resonator 査読あり
Katto M., Okuda M., Sasaki W., Kurosawa K., Kato Y.
IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics 1 ( 3 ) 924 - 930 1995年9月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌) 出版者・発行元:IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics
An unstable resonator was used for an e-beam pumped argon-excimer laser in the VUV-spectral region, for the first time to our knowledge. Adoption of the unstable resonator achieved successful operations of the high output energy of 28 mj without any damage of the resonator mirrors. Beam divergence of the argon-excimer laser output was measured with a beam profiler, which was developed in our laboratory. It was found that the output beam involved a large ASE output. The maximum focused fluence at the center of the output beam was measured to be 42 mJ/cm2. The coherence of the argon-excimer laser was degraded by the ASE, which was caused due to high gain condition of the argon-excimer laser. © 1995 IEEE
DOI: 10.1109/2944.473680
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T&Tオルファクトメータ基準臭に対する水晶振動子型ニオイセンサの応答(II)(共著)
濱中史紀、甲藤正人、大西俊四郎、新川淳司、栗岡豊
SICE '95 Proceedings 210 ( A-2 ) 605 - 606 1995年7月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)
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Fabrication, characteristics, and performance of diamond mirrors for vacuum ultraviolet excimer lasers(共著) 査読あり
K. Kurosawa, R. Sonouchi, A. Yokotani, W. Sasaki, M. Kattoh, Y. Takigawa, K. Nishimura
Optical Engineering 34 ( 5 ) 1405 - 1409 1995年5月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Radiation effects of vacuum ultraviolet lasers in amorphous Si3N4 films(共著) 査読あり
K. Nakamae, K. Kurosawa, M. Ohmukai, M. Katto, M. Okuda, W. Sasaki,S. Nozawa, T. Igarashi
Nuclear Instruments & Methodes in Physics Research B91 659 - 662 1994年10月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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短波長レーザー用二次元検出器としてのイメージングプレートの特性(共著) 査読あり
黒澤宏、甲藤正人、瀧川靖雄、佐々木亘
レーザー学会誌レーザー研究 22 ( 9 ) 734 - 745 1994年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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真空紫外アルゴンエキシマレーザーの高輝度化に関する研究
甲藤正人
大阪府立大学大学院博士後期課程学位論文 1994年2月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)
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Diamond Film Mirrors for Vacuum Ultraviolet Excimer Lasers(共著)
K. Kurosawa, R. Sonouchi, W. Sasaki, M. Katto and K. Nishimura
UVSOR Activity Report 169 - 170 1994年1月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(大学,研究機関等紀要)
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Imaging Plate as Recording Medium for VUV-XUV Photons(共著)
K. Kurosawa, R. Sonouchi, W. Sasaki, M. Katto and K. Nakamae
UVSOR Activity Report 167 - 168 1994年1月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)
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Kurosawa K., Sasaki W., Takigawa Y., Ohmukai M., Katto M., Okuda M.
Applied Surface Science 70-71 ( PART 2 ) 712 - 715 1993年6月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌) 出版者・発行元:Applied Surface Science
Silicon precipitates in surface layers as thin as 50 nm of quartz glass plates where 9.8 eV photons from an argon excimer laser are irradiated. The surfaces have many protrusions having a spherical shape with submicrometer diameter. Raman spectra indicates that they are made of crystalline silicon. Such a phenomenon has not been observed by 8.5 eV photons from a krypton excimer laser. VUV laser material processing offers a novel way to produce directly polycrystalline silicon circuits in thin surface layers of quartz glass plates. © 1993.
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イメージングプレートの紫外ナノ秒パルスを用いた画像記録への応用(共著)
甲藤正人、仲前一男、黒澤宏、佐々木亘、奥田昌宏
電子情報通信学会 画像変換装置研究会 信学技報 EID-93-7 33 - 38 1993年6月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)
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Laser beam profiler in the vacuum ultraviolet spectral range using photostimulable phosphor(共著) 査読あり
M. Katto, R. Matsumoto, K. Kurosawa, W. Sasaki, Y. Takigawa , M. Okuda
Review of Scientific Instruments 20 ( 9 ) 319 - 324 1993年2月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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イメージング・プレートによる真空紫外レーザーのモードパターン測定(共著)
佐々木亘、黒澤宏、甲藤正人、松本隆介
レーザー学会研究会報告レーザー計測 RTM93-2 7 - 12 1993年1月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)
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Laser beam profiler in the vacuum ultraviolet spectral range using photostimulable phosphor(共著)
M. Katto, R. Matsumoto, K. Kurosawa, W. Sasaki, Y. Takigawa and M. Okuda
ILE Quarterly Progress Report ( 42 ) 40 - 51 1992年12月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(大学,研究機関等紀要)
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イメージングプレートを用いたアルゴンエキシマレーザーのビームプロファイル測定(共著) 査読あり
松本隆介、甲藤正人、奥田昌宏、黒澤宏、佐々木亘、瀧川靖雄
レーザー学会誌レーザー研究 20 ( 9 ) 734 - 745 1992年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Some Characteristics of Imaging Plate as 2D-recording Media with UV and VUV lasers(共著)
M. Katto, R. Matsumoto, K. Kurosawa, W. Sasaki and Y. Takigawa
レーザー学会誌レーザー研究 Proceeding of Second Japan - China Symposium on Lasers 別冊 80 - 81 1992年5月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Wavelength-dependent Response Functions of Photostimulable Phosphor Materials(共著)
K. Kurosawa, M. Katto, R. Matsumoto and W. Sasaki
UVSOR Activity Report 1992年1月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(大学,研究機関等紀要)
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Beam Profile Measurement of Vacuum Ultraviolet Lasers with Photostimulable Phosphor(共著) 査読あり
M. Katto, K. Kurosawa, W. Sasaki, Y. Takigawa, M. Okuda
Jpnanese Journal of Applied Physics 30 ( 11 ) 2806 - 2807 1991年11月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Vacuum Ultraviolet Laser-Induced Surface Alteration of SiO2(共著) 査読あり
K. Kurosawa,Y. Takigawa, W. Sasaki, M. Katto, Y. Inoue
Japanese Journal of Applied Physics 30 ( 11 ) 3219 - 3222 1991年11月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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真空紫外波長域における画像記録材料としてのイメージングプレート(共著)
黒澤宏、甲藤正人、松本隆介、瀧川靖雄、佐々木亘
電子情報通信学会 技術研究報告 EID ( 91-28 ) 1 - 7 1991年6月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)
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イメージングプレートを用いた真空紫外からX線領域におけるレーザービームプロファイルの測定(共著)
黒澤宏、甲藤正人、松本隆介、瀧川靖雄、佐々木亘
電子情報通信学会 技術研究報告 EID ( 89-10 ) 1989年6月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)