論文 - 甲藤 正人
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Higashiguchi T., Dojyo N., Senba Y., Suetake S., Katto M., Kubodera S.
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering 6346 PART 1 2007年11月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス) 出版者・発行元:Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
We demonstrated a debris-free, efficient laser-produced plasma extreme ultraviolet (EUV) source by use of a regenerative liquid microjet target containing tin-dioxide (SnO2) nano-particles. By using a low SnO2concentration (6%) solution and dual laser pulses for the plasma control, we observed the EUV conversion efficiency of 1.2% with undetectable debris.
DOI: 10.1117/12.737382
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Suppression of suprathermal ions from a colloidal microjet target containing SnO2 nanoparticles by using double laser pulses(共著) 査読あり
Takeshi Higasiguchi, Masanori Kaku, Masahito Katto, and Shoichi Kubodera
Applied Physics Letters 91 ( 15 ) 151503 - 151505 2007年10月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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EUV and Debris Characteristics of a Laser Produced Tin Plasma using a Colloidal Tin Dioxicide Jet Target(共著)
Masanori Kaku, Masahito Katto, Shoichi Kubodera
Congress Proceedings of 26th International Congress on Applicatons of Lasers & Electro-Optics (ICALEO) 100 325 - 331 2007年10月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Generation of Intense Vacuum Ultraviolet Rasdiations for Advanced Material Processing(共著)
Masahito Katto, Atsushi Yokotani, Shoichi Kubodera, Masanori Kaku, Akira Hosotani, Noriaki Miyanaga, Kunioki MIma
Congress Proceedings of 26th International Congress on Applicatons of Lasers & Electro-Optics (ICALEO) 100 332 - 335 2007年10月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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高機能性光源を用いたマテリアルプロセッシングの研究(共著)
亀山晃弘,長友章悟,中村幸司,福永出,和佐本真,甲藤正人,横谷篤至
レーザー学会第364回研究会報告「レーザー応用」 RTM-07-30 15 - 20 2007年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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高強度真空紫外アルゴンエキシマレーザーの開発(共著)
加来昌典,谷口雄太,細谷章,甲藤正人,横谷篤至,窪寺昌一,宮永憲明,三間圀興
レーザー学会第364回研究会報告「レーザー応用」 RTM-07-34 37 - 42 2007年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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PLD法による多結晶ハイドロキシアパタイト被膜の室温成長(共著)
甲藤正人、横谷篤至、窪寺昌一、加来昌典、塚本雅裕、阿部信行、片山貴博、中山斌義、藤田雅之
レーザー学会第364回研究会報告「レーザー医学・生物学応用」 RTM-07-23 7 - 11 2007年8月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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High speed imaging of drilling process of thin silicon substrate with double pulsed femtosecond laser(共著)
A. Yokotani, H. Fukumoto, Y. Kanamitsu, S. Nagatomo, Y. Maezono, M. Katto
Proceeding of SPIE, XVII International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers & High Power Lasers 6346 63462V-1 - 63462V-7 2007年7月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Pulsed Laser Deposition for Poly-Crystalline Hydroxyapatite Coating(共著)
M. Katto, K. Ishibashi, A. Yokotani, T. HIgashiguchi, S. Kubodera, K. Kurosawa, T. Nakayama, H. Katayama, M. Fujita, N. Abe, M. Tusukamoto
Proceeding of SPIE, XVII International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers & High Power Lasers 6346 63463E-1 - 63463E-6 2007年7月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Enhancement of Extreme Ultraviolet Emission from a lithium Plasma by use of Dual Laser Pluses(共著)
T. Higashiguchi, T. Senba, S. Suetake, M. Katto, W. Sasaki, S. Kubodera
Proceeding of SPIE, XVII International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers & High Power Lasers 6346 63462R-1 - 63462R-5 2007年7月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Damage Threshold of Acrylic Polymer Jackets Material of Optical Fiber by Near and Deep UV Laser(共著)
Y. Maezono, Y. Iwasa, K, Kurosawa, M. Katto, A. Yokotani
Proceeding of SPIE, XVII International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers & High Power Lasers 6346 63462O-1 - 63462O-5 2007年7月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Vacuum Ultraviolet Argon Excimer Laser Initiated by Optical-Field-Induced Ionization Electrons(共著)
S. Kubodera, Y. Taniguchi, T. Higashiguchi, M. Katto
Proceeding of SPIE, XVII International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers & High Power Lasers 6346 63460R-1 - 63460R-663460R-6 2007年7月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Silicon Nitride Film Deposition by Photochemical Vapor Deposition Using an Argon Excimer Lamp(共著) 査読あり
Yoshinari Maezono, Kiyohiko Toshikawa, Kou Kurosawa, Kouichi Amari, Sou Ishimura, Masahito Katto, and Atsushi Yokotani
Japanese Journal of Applied Physics 46 ( 6A ) 3534 - 3536 2007年6月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Effect of Laser Fluence on Poly-crystallization of Hydroxyapatite Film Coated by PLD Method(共著) 査読あり
Masahito Katto, Kenzo Ishibashi, Atsushi Yokotani, Shoichi Kubodera, Takeshi Higashiguchi, Kou Kurosawa, Takeyoshi Nakayama, Hirotaka Katayama, Masayuki Fujita, Masahiro Tsukamoto and Nobuyuki Abe
Journal of Laser Micro/Nanoengineering 2 ( 2 ) 152 - 155 2007年6月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Subpicosecond vacuum ultraviolet laser system for advanced material processing(共著)
S. Kubodera, Y. Taniguchi, A. Hosotani, M. Katto, A. Yokotani, N. Miyanaga and K. Mima
Proceedings of SPIE , Laser Resonators and Beam Control IX 6452 645216-1 - 645216-8 2007年6月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Crystallized hydroxyapatite coatings deposited by PLD with targets of different densities(共著) 査読あり
Masahito Katto, Kenzo Ishibashi, Kou Kurosawa, Atushi Yokotani, Shoichi Kubodera, Akihiro Kameyama, and Takeshi Higashiguchi
Journal of Physics : Conference Series 59 75 - 78 2007年5月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Microstructure Formation on Titaium Plate by Femtosecond Laser Ablation(共著) 査読あり
M. Tsukamoto, N. Abe, T. Kayahara, K. Asuka, M. Hashida, H. Nakano, M. Fujita and M. Katto
Journal of Physics : Conference Series 59 666 - 669 2007年5月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Crystallized hydroxyapatite coatings deposited by PLD with targets of different densities
Katto M., Ishibashi K., Kurosawa K., Yokotani A., Kubodera S., Kameyama A., Higashiguchi T., Nakayama T., Katayama H., Tsukamoto M., Abe N.
Journal of Physics: Conference Series 59 ( 1 ) 75 - 78 2007年4月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌) 出版者・発行元:Journal of Physics: Conference Series
We successfully achieved the poly-crystallized coatings of bio-active hydroxyapatite on titanium plates. We used several ceramic HAp targets sintered at a temperature of 500°C, 700°C, 900°C and 1100°C, and irradiation by KrF excimer laser at a fluence of about 4J/cm 2 . The depositions were performed under 1Torr H 2 O atmosphere at room temperature. In this condition, a poly-crystallized HAp layer was formed only using a target sintered at 900°C. We estimated the charged fragments from these targets by a simple ion-probe collection and found that the energy distribution of charged fragments depended on the densities of the targets. © 2007 IOP Publishing Ltd.
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Growth of β-FeSi2 Thin Films on Silicon Substrates by Pulsed Laser Deposition Using ε-FeSi Alloy Targets(共著) 査読あり
M. Tode, Y. Takigawa, M. Muroya, M. Katto, K. Kurosawa, and M. Ohmukai
Japanese Journal of Applied Physics 46 ( 2 ) 651 - 653 2007年2月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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真空紫外光で拓く環境調和型プロセス—真空紫外領域における光源の開発とその応用技術の開発—(共著) 招待あり
甲藤正人、窪寺昌一、横谷篤至
ケミカルエンジニアリング 52 ( 1 ) 66 - 71 2007年1月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)