論文 - 甲藤 正人
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紫外光レーザーを用いた光ファイバーセンサー作製技術の開発(共著)
前薗好成、岩佐洋助、山本郁夫、甲藤正人、横谷篤至
レーザー学会第355回研究会報告「レーザー応用」 RTM-06 31 - 36 2006年11月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)
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レーザーを用いた食品異物検出装置の開発(共著)
黒澤崇、田中孝幸、松本浩、大宮正、堀越稔、金澤正夫、甲藤正人、黒澤宏
レーザー学会第355回研究会報告「レーザー応用」 RTM-06 27 - 30 2006年11月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)
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LALA法におけるHAp被膜に及ぼすアシストレーザー照射タイミングの影響 査読あり
片山博貴、石橋圭介、百々正洋、橋新裕一、甲藤正人、中山斌義
電気学会論文誌C 126 ( 11 ) 1283 - 1289 2006年11月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Maezono Yoshinari, Iwasa Yosuke, Kurosawa Kou, Katto Masahito, Yokotani Atsushi
Jpn J Appl Phys 45 ( 35 ) L944 - L946 2006年9月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌) 出版者・発行元:Japan Society of Applied Physics
Room temperature (RT) deposition of silica thin films is available with vacuum ultraviolet (VUV) chemical vapor deposition (CVD) technique. However, the quality of the films with VUV-CVD was inferior to that with conventional methods. In this work, we have investigated the photochemical reaction using an Ar2* excimer lamp. After 1-min deposition, the irradiation of Ar2* excimer lamp to the obtained film was operated with the evacuation in the chamber. From the result of Fourier transmission infrared spectrometer spectra and an X-ray photoelectron spectroscope measurement, it was found that hydrogen and hydrocarbon, such as CH3, was reduced with the irradiation of Ar2* excimer lamp. Therefore, it was considered that the film with low impurities could be obtained at RT by this technique. This technique is considered to be effective, because the operation could have performed at RT. We can conclude that this method will be a very useful method for no damage process of ultra large scale integration production in the semiconductor industry.
DOI: 10.1143/JJAP.45.L944
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Periodic microstructures produced by femtosecond laser irradiation on titanium plate(共著) 査読あり
Masahiro Tsukamoto, Keita Asuka, Hitoshi Nakano, Masaki Hashida, Masahito Katto, Nobuyuki Abe and Masayuki Fujita
Vacuum 80 1346 - 1350 2006年9月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Pulsed Laser Deposition Methods for Poly-Crystallized Hydroxyapatite Coatings(共著) 査読あり
Masahito Katto, Kou Kurosawa, Atsushi Yokotani, Shouichi Kubodera, Takeshi Higashiguchi, Akihiro Kameyama, Takeyoshi Nakayama, Hirotaka Katayama, Masahiro Tsukamoto and Nobuyuki Abe
SMART PROCESSING TECHNOLOGY 1 5 - 8 2006年8月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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Nitridation in Photon-Assisted Process using an Argon Excimer Lamp(共著) 査読あり
K. Toshikawa, K. Amari, S. Ishimura, M. Katto, A. Yokotani, and K. Kurosawa
Japanese Journal of Applied Physics 45 ( 5A ) 4012 - 4014 2006年6月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Effect of laser fluence on poly-crystallized hydroxyapatite film coated by PLD method(共著) 査読あり
Kenzo Ishibashi, Masahito Katto, Atsushi Yokotani, Shoichi Kubodera, Akihiro Kameyama, Takeshi Higashiguchi, Kou Kurosawa, Takeyoshi Nakayama, Hirotaka Katayama, Masayuki Fujita, Masahiro Tsukamoto and Nobuyuki Abe
Online Proceeding of LAMP2006 #06-40 ( Fr3-4 #34 ) 2006年5月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)
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フェムト秒レーザー誘起表面周期構造の金属インプラントへの応用(共著)
川原公介,沢田博司,武田昭二,甲藤正人
電気学会研究会資料 光・量子デバイス研究会「レーザーアブレーションその他」 OQD-06-1-11 1 - 4 2006年3月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)
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高エネルギー及び高輝度光源を用いたマテリアルプロセッシングの研究(共著)
亀山晃弘,甲藤正人,横谷篤至,黒澤宏
レーザー学会第341回研究会報告レーザー応用 RTM-05-32 5 - 10 2005年11月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)
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Poly-crystallized hydroxyapatite coating deposited by pulsed laser deposition method at room temperature(共著) 査読あり
M. Katto, K. Kurosawa, A. Yokotani, S. Kubodera, A. Kameyama, T. Higashiguchi, T. Nakayama and M. Tsukamoto
Applied Surface Science 248 ( 1-4 ) 365 - 368 2005年7月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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甲藤 正人, 黒澤 宏, 横谷 篤至, 窪寺 昌一, 亀山 晃弘, 東口 武史, 中山 斌義, 塚本 雅裕, 阿部 信行
電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会 2004 ( 32 ) 7 - 11 2004年11月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)
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紫外レーザーを用いたファイバーグレーティングセンサーの作製と特性評価(共著)
加藤隆晴,佐藤明子,福島康広,亀山晃弘,甲藤正人,横谷篤至,黒澤宏
宮崎大学工学部紀要 33 81 - 86 2004年10月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(大学,研究機関等紀要)
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ファイバーグレーティングセンサ反射特性のシミュレーションによる解析(共著)
佐藤明子,福島康広,加藤隆晴,亀山晃弘,甲藤正人,横谷篤至,黒澤宏
宮崎大学工学部紀要 33 81 - 86 2004年10月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(大学,研究機関等紀要)
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Hot Ion Beam Generation from Rare-Gas Cryogenic Targets 査読あり
Rajyaguru Chirag, Higashiguchi Takeshi, Maezono Yoshinari, Katto Masahito, Yokotani Atsushi, Kurosawa Kou, Sasaki Wataru, Kubodera Shoichi
Japanese journal of applied physics. Pt. 2, Letters 43 ( 7 ) L898 - L900 2004年7月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌) 出版者・発行元:Japan Society of Applied Physics
Energetic ions having a maximum velocity of the order of $10^{7}$ cm/s were detected in the interaction of a frequency-doubled $Q$-switched Nd:YAG laser with rare-gas cryogenic targets at the laser intensity of $1 \times 10^{12}$ W/cm2. It was observed that the angular distribution of ions strongly peaked in the target normal direction confined to a narrow range of angle following $\sim\cos^p\theta$ ($ p=3--5$). Scaling of the ion current and their velocity as a function of an incident laser energy were investigated. To analyze the effect of energetic particles from a plasma, a silicon substrate was used as a particle target. Its surface morphology revealed that micron-size solid fragments from the target dominantly affected the silicon surface.
DOI: 10.1143/JJAP.43.L898
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High-quality hydroxyapatite coating on biocompatible materials by laser-assisted laser ablation method(共著)
T. Nakayama , T. Tanaka, Y. Tsumoto, H. Katayama , M. Katto
Applied Physics. A 79 ( 4-6 ) 833 - 836 2004年7月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Al2O3 セラミクスのフェムト秒レーザアブレーション(共著) 査読あり
長嶋謙吾,橋田昌樹,甲藤正人,塚本雅裕,藤田雅之,井澤靖和
電気学会論文誌 C 124 ( 2 ) 388 - 392 2004年2月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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フェムト秒レーザーによる表面加工技術と実用化への課題(共著)
藤田雅之、橋田昌樹、甲藤正人、塚本雅裕
第60回レーザー加工学会論文集 43 - 48 2003年12月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)
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フェムト秒レーザを用いたTi基板の穴開け加工(共著) 査読あり
塚本雅裕、阿部信行、橋田昌樹、藤田雅之、甲藤正人、井澤靖和
プラズマ応用科学 11 144 - 120 2003年12月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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パルスレーザー堆積法による機能性材料被膜の形成〜構造制御と基礎過程の解明に向けて〜(共著)
甲藤正人、黒澤宏、中山斌義、塚本雅裕、瀧川靖雄、高橋健治
レーザー学会第317研究会報告レーザー応用 RTM-03-44 37 - 42 2003年11月
記述言語:日本語 掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)